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公开(公告)号:JP2020013581A
公开(公告)日:2020-01-23
申请号:JP2019141889
申请日:2019-08-01
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】ポンプ型式の違いや、液体ポンプの使用用途の違い、更にはユーザの運用の方針などの実際の運転条件等の条件の違いを考慮し、実用的で寿命を高精度で推定できる液体ポンプのメインテナンス・スケジューラを提供すること。 【解決手段】メインテナンス・スケジューラは、下記の(1)乃至(4)機能を備えている。 (1)サンプリングデータの分類化・規格化のデータ加工プロセス、(2)サンプリングデータの状況を評価するために、過去から蓄積したフィールドデータの分類化・規格化・標準化のデータ加工プロセス、(3)加工された互いのデータを比較検討し、現在の正常異常の判断と残余寿命の推定をするとともに、今後のメインテナンスすべき箇所を推定し、そのスケジュールを提案する機能、(4)得られたサンプリングデータと判断結果の履歴を保存するともに、蓄積したフィールドデータとして更新し、評価基準を更新する機能。 【選択図】図13
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公开(公告)号:JP2017125532A
公开(公告)日:2017-07-20
申请号:JP2016004243
申请日:2016-01-13
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】 運転中にも安全に潤滑油を取り出すことができる潤滑油採取システムを提供する。 【解決手段】 軸受装置の油溜内の潤滑油を採取するための潤滑油採取システム501であって、油溜34内に潤滑油を供給する供給管511と、油溜34に形成された採油口311と供給管511に接続された循環管路512と、循環管路512上に設けられたシリンダ513とを備え、シリンダ513は、シリンダ513内で供給管511側と採油口311側とを仕切るピストン514を備え、ピストン514によって仕切られたシリンダ513内の空間であって供給管511側の空間に潤滑油515が充填されている。 【選択図】 図2
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公开(公告)号:JP2017122472A
公开(公告)日:2017-07-13
申请号:JP2016001082
申请日:2016-01-06
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】 潤滑油を使用する軸受装置の油溜から潤滑油の一部を取り出すための時間やエネルギの消費を抑える。 【解決手段】 潤滑油を使用する軸受装置30に対して用いられ、軸受装置30の油溜34内の潤滑油を攪拌するための攪拌装置501は、流体としての空気を排出する潤滑油用ポンプ511と、一端が油溜34内の潤滑油に浸されて用いられ、他端が潤滑油用ポンプ511に接続される管521とを備え、潤滑油用ポンプ511から管521を通して油溜34内の潤滑油に空気を供給することで、油溜34内の潤滑油を攪拌する。 【選択図】 図2
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公开(公告)号:JP2017104820A
公开(公告)日:2017-06-15
申请号:JP2015241915
申请日:2015-12-11
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】 油溜の内面、特に底面に溜まった汚れを洗い流す洗浄装置を提供する。 【解決手段】 洗浄装置50は、潤滑油を使用する軸受装置が備える油溜を洗浄するための洗浄装置50であって、流体を排出するポンプ51と、一端が油溜34に挿入され、他端がポンプ50に接続される管52とを備え、ポンプ51から管52を通して油溜に新しい潤滑油を供給することで、油溜34の内部を洗浄する構成を有する。 【選択図】 図2
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公开(公告)号:JP2015226959A
公开(公告)日:2015-12-17
申请号:JP2014113915
申请日:2014-06-02
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: B24B57/02 , B24B37/00 , H01L21/304 , B24B37/34
CPC classification number: G01N21/33 , B24B37/0056 , B24B49/12 , G01N21/31 , G01N2021/3155 , G01N2030/8809
Abstract: 【課題】研磨後スラリーの成分の濃度もしくは成分の濃度に対応する物理量を測定することでスラリーの促進剤成分と阻害剤成分とを評価することによりスラリーの鮮度を判定することができる研磨液の研磨性能判定方法を提供する。 【解決手段】被研磨物の溶解を促進する促進剤および被研磨物の溶解を阻害する阻害剤を含む研磨液の研磨性能を判定する研磨液の研磨性能判定方法であって、研磨廃液を分光法により分析し、促進剤または阻害剤または促進剤と被研磨金属との錯体化合物を識別可能な波長の中から複数の波長を選択し、選択した複数の波長の吸光度を測定することにより研磨液の研磨性能を判定する。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种抛光液的抛光性能测定方法,其可以通过测量抛光后的浆料组分的浓度或通过测量浆料的组分的浓度来评估浆料的助催化剂组分和抑制剂组分来确定浆料的新鲜度 物理量对应于组分的浓度。溶液:抛光液性能测定方法确定含有促进待抛光制品的溶解促进剂的抛光液和抑制物质溶解的抑制剂的研磨液的抛光性能。 通过光谱分析废抛光液体,以从能够区分启动子和抑制剂或促进剂和抛光金属之间的复合化合物的波长中选择多个波长,使得抛光液的抛光性能通过测量吸光度 选择多个波长。
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公开(公告)号:JPWO2019059227A1
公开(公告)日:2020-12-03
申请号:JP2018034618
申请日:2018-09-19
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 潤滑油を用いる摺動部を具備する機械設備の稼働現場にて、当該機器に用いられている潤滑油をその場で採取し、当該潤滑油中の金属濃度をその場で分析し、潤滑油中の金属濃度に応じて、当該摺動部の摩耗状況を判断し、摩耗が発生している場合には摩耗の程度に応じて、当該摺動部の摩耗状況を判断して、潤滑油のより詳細な分析の実施、摺動部に関する他の検査の実施、継続的な潤滑油分析、潤滑油交換、又は摺動部調整を行う、機械設備の運転管理方法。
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公开(公告)号:JP2018197374A
公开(公告)日:2018-12-13
申请号:JP2017102628
申请日:2017-05-24
Applicant: 株式会社荏原製作所 , 学校法人東京理科大学
Abstract: 【課題】金属の析出を正確に予測することができるめっきシミュレーション方法を提供する。 【解決手段】本めっきのシミュレーション方法は、基板上を流れるめっき液の流体解析を行ってめっき液の速度分布を取得し、基板上のめっき液の動きが実質的に停滞している拡散層の厚さを速度分布から決定し、めっき液に含まれる金属イオンおよびレベラーの基板面での濃度をネルンスト・プランクの式により算出し、金属イオンおよびレベラーの濃度と、めっき液の流速とをパラメータとして含むバトラー・ボルマーの式を用いて凹部を含む基板面上の金属の析出速度を決定する。 【選択図】図4
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公开(公告)号:JP2017110676A
公开(公告)日:2017-06-22
申请号:JP2015243167
申请日:2015-12-14
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】 運転中にも安全に潤滑油を取り出すことができる軸受装置を提供する。 【解決手段】 軸受装置301は、潤滑油を使用して駆動軸20を回転可能に軸受けする。軸受装置301は、駆動軸20が貫通する軸受ケーシング31と、軸受ケーシング31内で駆動軸20を覆うカバー391とを備える。軸受ケーシング31は、上部に給油口36が設けられ、下部に潤滑油を溜める油溜34が形成される。カバー391によって、給油口36から挿入されて油溜34の潤滑油に達する可撓性を有する管521が駆動軸20に接触することが防止される。 【選択図】 図4
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公开(公告)号:JP2017106592A
公开(公告)日:2017-06-15
申请号:JP2015241873
申请日:2015-12-11
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】 排油時に油溜内に汚れが残りにくい構造の軸受装置を提供する。 【解決手段】 軸受装置は、潤滑油を使用して駆動軸を回転可能に軸受けする軸受装置であって、潤滑油の油溜34が形成された軸受ケーシングを備え、底部は、すり鉢状の形状を有し、すり鉢状の底部の最も低い位置に排油口38が設けられている。 【選択図】 図2
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