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    ミラー素子の配向を決定する監視系およびＥＵＶリソグラフィシステム
    16.
    发明专利
    ミラー素子の配向を決定する監視系およびＥＵＶリソグラフィシステム 有权
    监控系统和EUV光刻系统，其确定所述反射镜元件的取向

    公开(公告)号：JP2016500835A

    公开(公告)日：2016-01-14

    申请号：JP2015534935

    申请日：2013-10-07

    申请人： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

    发明人： ヴァングラー ヨハネス ,  ヴァングラー ヨハネス ,  アイゼンメンガー ヨハネス ,  アイゼンメンガー ヨハネス ,  デギュンター マルクス ,  デギュンター マルクス ,  パトラ ミヒャエル ,  パトラ ミヒャエル

    IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B7/00 ,  G02B26/08

    CPC分类号： G03F7/70033 ,  G01B11/14 ,  G01M11/005 ,  G02B26/0833 ,  G02B27/62 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/7085

    摘要： 配向を相互に独立して設定することのできる複数のミラー素子(23)を含むミラーシステム(19)と、ミラー素子 (23)の配向を決定するようになされたモニタシステム(52)とを備える光学系。モニタシステムは、複数の異なる波長を有する光(55)で複数のミラー素子を照射するようになされたモニタ照射源(57) と、物体面(61)、結像面(63)および物体面と結像面の間に配置された瞳面(77) を有するモニタレンズ(59) と、種々の場所で相互に異なる波長依存透過特性を有するカラーフィルタ(78)と、検出領域(65)を有する空間分解および波長分解光検出器(67)とを備え、ミラー素子(23)はモニタレンズ(59) の物体面(61)の領域に配置され、光検出器(67)の検出領域(65)はモニタレンズ(59)の結像面(63)に配置され、カラーフィルタ(78)はモニタレンズ(59)の瞳面(77)に配置されている。【選択図】図4

    摘要翻译： 包括反射镜系统，包括多个反射镜元件（23），其可以被独立地设置的方位彼此（19），和由监测系统，以确定反射镜元件（23）朝向（52） 光学系统。 监控系统，多个不同的由监视器照明源照亮的多个光反射镜元件（55）具有波长和（57），物体面（61），图像平面（63）和所述物平面和 具有监控透镜（59），其具有布置在所述图像平面（77）之间的光瞳平面中，具有在不同位置不同的波长依赖透射特性彼此的滤色器（78），一个检测区域（65） 空间分辨率和波长分解的光检测器（67）和包括反射镜元件（23）被布置在所述显示器的透镜（59）（61）的物平面的区域中，光检测器检测区域（67）（65） 被放置在显示器的透镜（59）（63）的像面，彩色滤光片（78）被布置在所述显示器的透镜（59）（77）的光瞳平面。 点域4