公开(公告)号：KR102226734B1

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：KR1020157011707A

申请日：2013-10-28

Applicant: 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하

Inventor： 토마스 피셔

IPC: G03F7/20 ,  G02B26/08

CPC classification number: G03F7/70833 ,  G03F7/70058 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0095 ,  G02B26/0816 ,  G02B26/0833 ,  G02B5/0891 ,  G02B5/09 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116

Abstract: EUV 투영 리소그래피용 조명 광학 유닛은 제 1 패싯 미러 및 제 2 패싯 미러를 갖고, 각각은 지지부 상의 복수의 반사 패싯을 갖는다. 제 2 패싯 미러의 패싯은 여러 경사 위치 사이에서 스위칭될 수 있다. 각각의 경사 위치에서, 경사가능한 제 1 패싯은 이러한 제 2 패싯(11)의 방향으로 EUV 방사선을 편향하기 위한 제 2 패싯 미러(11)의 제 2 패싯(11)에 할당된다. 제 1 패싯(7)의 각각은 그 경사 위치에 의해 제 2 패싯(11)의 설정(AAA, aaa...)에 할당된다. 2개의 패싯 미러는, 제 1 패싯(7)에 의해 충돌되는 제 2 패싯(11)의 배열 분포가 조명 필드의 조명의 조명각 분포를 야기하는 방식으로 배열된다. 제 2 패싯(11)의 세트(YYYY)의 각각에 속하는 제 2 패싯(11)은 제 2 패싯 미러(10) 상의 원형(28)에 놓이고, 상기 원형의 직경은 제 2 패싯 미러(10) 상의 모든 제 2 패싯(11)의 전체 배열의 전체 직경(GD)의 70% 미만이다. 이것은 조명 광학 유닛을 야기하고, 여기서, 다수의 규정된 조명 세팅 사이의 변화는 적은 비용으로 가능하다.

公开(公告)号：JP6423419B2

公开(公告)日：2018-11-14

申请号：JP2016516592

申请日：2014-09-19

Applicant: カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

Inventor： パトラ ミヒャエル ,  デギュンター マルクス

IPC: G02B5/08 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/702 ,  G02B5/0891 ,  G02B5/09 ,  G02B26/0833 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116

公开(公告)号：JP2018531412A

公开(公告)日：2018-10-25

申请号：JP2018515432

申请日：2015-09-23

Applicant: カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

Inventor： デギュンター マルクス ,  アイゼンメンゲル ヨハネス ,  ヒルト シュテファニ ,  コルプ トマス ,  シュレゼナー フランク ,  マウル マンフレート

IPC: G03F1/84 ,  A20 ,  C07C275 ,  G02B19/00 ,  G01N21/956 ,  G01N21/84 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70116 ,  G02B3/0062 ,  G02B26/0833 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/702 ,  G03F7/7085

Abstract: マイクロリソグラフィ投影装置の照明システムを動作させる方法によれば、複数のマイクロミラー(56)によって形成される変調面(222)を有する空間光変調器(52)が提供される。各マイクロミラーは、マイクロミラーごとに個々に変更することができる向きを有するミラー面(224−1−1〜224−4−9)を備える。マイクロミラーのうちの少なくとも1つについて、ミラー面に関連する少なくとも1つのパラメータが測定される。ミラー面の向きが、少なくとも1つの測定パラメータに応じて制御される。変調面(222)上に光パターンが生成され、光パターンの像が、複数の光入射ファセット(75)を有する光学インテグレータ(60)上に形成される。最後に、光入射ファセット(75)の像が、マスク(16)上で重ね合わされる。

公开(公告)号：JP6410741B2

公开(公告)日：2018-10-24

申请号：JP2015562015

申请日：2014-03-03

Applicant: カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

Inventor： マウル マンフレッド

IPC: G02B19/00 ,  G02B5/08 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/702 ,  G02B19/0095 ,  G02B26/0833 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/70566

公开(公告)号：JP2018156065A

公开(公告)日：2018-10-04

申请号：JP2018016940

申请日：2018-02-02

Applicant: クリスティ デジタル システムズ ユーエスエイ インコーポレイテッド

Inventor： ジャクソン ジョン デイヴィッド ,  パーキンス マイケル ,  ラム マーク ,  マー ジョセフ

IPC: G02B26/08 ,  H04N5/74 ,  G03B21/14

CPC classification number: G02B26/0833 ,  G02B27/1066 ,  G03B21/008 ,  G03B21/147 ,  H04N9/3126 ,  H04N9/315

Abstract: 【課題】デジタルマイクロミラーデバイスのための順方向対順方向高ダイナミックレンジ・アーキテクチャが提供される。 【解決手段】特に、本明細書において提供されるのは、各々がそれぞれの非法線角度で照射されて、それぞれの出力画像が法線角度で反射されるように、各々が順方向構成で作動され、第1のDMDの対象面が第1のDMDに平行である2つのデジタルマイクロミラーデバイス(DMD)を含むデバイスである。DMD間の光学系は、第2のDMDにおける像面を順方向構成で照射するために第1のDMDから反射された光を伝えるように構成され、光学系は、等価なレンズ面を含む。DMD間の少なくとも1つの光デバイスは、第1のDMDの対象面を等価な傾いた対象面へ傾け、等価なレンズ面、等価な傾いた対象面および像面がすべてシャインプルーフ交点で交差するように構成される。 【選択図】図5

公开(公告)号：JP6399065B2

公开(公告)日：2018-10-03

申请号：JP2016186736

申请日：2016-09-26

Applicant: カシオ計算機株式会社

Inventor： 尾田 潔

IPC: G03B21/00 ,  F21V9/40 ,  F21V9/30 ,  H04N5/74 ,  F21Y115/10 ,  F21Y115/30 ,  F21S2/00

CPC classification number: G02B26/101 ,  G02B26/008 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/105 ,  G09G3/00 ,  G09G3/002

公开(公告)号：JP2018523840A

公开(公告)日：2018-08-23

申请号：JP2017535683

申请日：2017-06-06

Applicant: エッセンシャル プロダクツ インコーポレイテッド ,  Essential Products, Inc.

Inventor： エバンス ブイ,デイビッド ジョン ,  ジアン,シンルォイ ,  ルービン,アンドリュー イー. ,  ハーシェンソン,マシュー ,  ミアオ,シャオユィ ,  テート,ジョセフ アンソニー ,  ガニエ−キーツ,ジェイソン ショーン ,  シュルツ ザビン,レベッカ

IPC: G09F9/37 ,  G02F1/1333 ,  H01L51/50 ,  H01L27/32 ,  H05B33/12 ,  H05B33/02 ,  G02B5/20 ,  G09F9/30

CPC classification number: H01L27/1262 ,  G02B5/201 ,  G02B5/3033 ,  G02B6/0051 ,  G02B26/0833 ,  G02F1/13318 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/133504 ,  G02F1/133514 ,  G02F1/133528 ,  G02F1/1339 ,  G02F1/1341 ,  G02F1/134336 ,  G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  G02F2001/13312 ,  G02F2001/134345 ,  G02F2201/56 ,  G06F1/1605 ,  G06F1/1686

Abstract: ここで提案されるのは、例えば、カメラのようなセンサーを内部に配置可能な中空部を備え、不規則な形状を有する電子ディスプレイを製作するための製造技術である。該製造技術は、製造過程中のどの時点でも、中空部の製作を可能とする。結果として得られた電子ディスプレイは、センサー類が内部に配置され、そしてセンサー類がディスプレイに囲まれた状態で携帯デバイスの全側面を占めることができる。 【選択図】図1A

公开(公告)号：JP6364312B2

公开(公告)日：2018-07-25

申请号：JP2014216269

申请日：2014-10-23

Applicant: スタンレー電気株式会社

Inventor： 池野 良平 ,  齋藤 貴夫

IPC: G02B26/08 ,  H04N5/74 ,  B81B3/00 ,  G02B26/10

CPC classification number: H04N9/3135 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/105 ,  G09G3/025 ,  H04N9/14

公开(公告)号：JP2018112755A

公开(公告)日：2018-07-19

申请号：JP2018070576

申请日：2018-04-02

Applicant: 株式会社ニコン

Inventor： 谷津 修

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G02B26/0833 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/70191

Abstract: 【課題】 照明光学系に用いられて瞳強度分布の強度レベルに関する自由度を向上させることのできる空間光変調ユニット。 【解決手段】 光源からの光により被照射面を照明する照明光学系に用いられる空間光変調ユニットは、所定面内に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有する空間光変調器と、光源から入射した光に空間的な光変調を付与して、複数の光学要素の要素毎にその位置に応じた強度レベルの光束を入射させる空間光変調素子と、複数の光学要素の各々に入射する光束の強度レベルに関する情報に基づいて複数の光学要素を個別に制御する制御部とを備えている。 【選択図】 図2

公开(公告)号：JP2018518709A

公开(公告)日：2018-07-12

申请号：JP2017561261

申请日：2016-05-27

Applicant: サルミック ラブス インコーポレイテッド

Inventor： スティーブン アレクサンダー ,  ジェイク チャペスキー ,  ロイド フレデリック ホランド ,  トーマス マホーン

IPC: H04N9/31 ,  H04N5/64 ,  G02B27/02

CPC classification number: G02B27/0172 ,  G02B5/32 ,  G02B26/0833 ,  G02B27/0093 ,  G02B27/0103 ,  G02B27/017 ,  G02B27/0176 ,  G02B2027/0107 ,  G02B2027/0109 ,  G02B2027/015 ,  G02B2027/0174 ,  G02B2027/0178 ,  G06F3/013 ,  H04N9/3129 ,  H04N9/3161

Abstract: 視標追跡能力を走査レーザプロジェクタ(「SLP」)ベースのウェアラブルヘッドアップディスプレイに統合するシステム、デバイス、及び方法が説明されている。赤外レーザダイオードがRGB SLPに追加され、赤外光検出器は、眼の特徴からの赤外光の反射を検出するよう位置調整されている。ホログラフィック光学素子(「HOE」)が、可視光、赤外光、及び環境光をユーザの「視野」に組み合わせるために用いられてもよい。HOEは、異種であってもよく、正の屈折力を可視光に、そして、ゼロ又は負の屈折力を赤外光に印加するよう多重化されてもよい。