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发明专利
荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置の調整方法有权

公开(公告)号：JP6714147B2

公开(公告)日：2020-06-24

申请号：JP2019506874

申请日：2017-03-24

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 長谷川正樹 , 尾方智彦 , 兼岡則幸 , 村越久弥 , 小貫勝則

IPC: H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/20 , H01J37/29 , H01J37/22 , H01J37/21

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