公开(公告)号：JP6051301B2

公开(公告)日：2016-12-27

申请号：JP2015515804

申请日：2014-03-10

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 山本 琢磨 ,  後藤 泰範 ,  福永 文彦

IPC: G03F9/00 ,  G01B15/04 ,  H01L21/66 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  G01B15/00 ,  G03F7/70633 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/2817

公开(公告)号：JP6511193B2

公开(公告)日：2019-05-15

申请号：JP2018511808

申请日：2016-04-13

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 太田 洋也 ,  谷本 憲史 ,  田盛 友浩 ,  山本 琢磨

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  G01B15/00

公开(公告)号：JPWO2017179138A1

公开(公告)日：2018-12-06

申请号：JP2016061853

申请日：2016-04-13

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 太田 洋也 ,  谷本 憲史 ,  田盛 友浩 ,  山本 琢磨

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  G01B15/00

CPC classification number: G01B15/00 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244

Abstract: 本発明は、深溝や深孔の形成精度によらず、高精度に溝底や孔底等を測定することが可能なパターン計測装置の提供を目的とする。そのために本発明では、荷電粒子線装置にて得られた信号に基づいて、試料上に形成されたパターンの寸法を測定する演算装置を備えたパターン計測装置であって、前記演算装置は、前記試料に対する荷電粒子ビームの走査に基づいて得られた検出信号から、パターンの第1の部分と当該第1の部分とは異なる高さにある第2の部分とのずれと、前記パターンの寸法値を求め、当該検出信号から求められたずれと、前記パターンの寸法と前記ずれとの関係を示す関係情報を用いて、前記パターンの寸法値を補正するパターン計測装置を提案する。

公开(公告)号：JP5972663B2

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：JP2012111354

申请日：2012-05-15

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 榊原 慎 ,  谷本 憲史 ,  安部 悠介 ,  山本 琢磨

IPC: H01J37/29 ,  H01J37/28 ,  H01J37/153 ,  H01J37/305 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28

公开(公告)号：JP5957357B2

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：JP2012227590

申请日：2012-10-15

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 皆川 剛 ,  広井 高志 ,  吉田 健之 ,  二宮 拓 ,  山本 琢磨 ,  新藤 博之 ,  福永 文彦 ,  豊田 康隆 ,  篠田 伸一

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  G01B15/04

CPC classification number: G06T7/001 ,  G06K9/4604 ,  G06K9/52 ,  G06T7/0002 ,  G06T7/13 ,  H01J37/244 ,  G01B2210/56 ,  G06T2207/30168 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2817