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公开(公告)号：JP2017181956A
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2016072439
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社豊田中央研究所
Abstract: 【課題】可動部の周縁を基準面上で転がしながら可動部を回転させる光偏向器において、可動部の状態を特定することが可能な技術を提供する。 【解決手段】本明細書が開示する光偏向器は、基準面を有する基部と、光を反射する反射部と、光を透過する少なくとも2つの透光部を備える可動部であって、周縁を基準面上で転がしながら回転可能に基部に支持された可動部と、可動部を回転駆動する駆動装置と、少なくとも2つの透光部で回折した回折光のパターンを検出する検出装置と、回折光のパターンに基づいて可動部の状態を特定する処理装置を備えている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017161728A
公开(公告)日：2017-09-14
申请号：JP2016046151
申请日：2016-03-09
Applicant: 株式会社豊田中央研究所
Abstract: 【課題】可動部の周縁を接触させながら可動部をヨー軸周りに回転させる偏向器において、可動部の中心が支持点から大きくずれた状態で回転することを抑制することが可能な技術を提供する。 【解決手段】本明細書が開示する偏向器は、基準面と、基準面から上方にオフセットした支持点を有する基部と、支持点に支持された可動部であって、ピッチ軸、ロール軸およびヨー軸の三軸に関して揺動可能であって、かつ支持点に対してスライド可能な可動部と、可動部に形成された反射部と、可動部の周縁を基準面に接触させながら可動部をヨー軸周りに回転駆動する駆動機構と、基準面において可動部の周縁が外側境界を超えて外側に移動することを防止する外側ストッパ部を備えている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021076424A
公开(公告)日：2021-05-20
申请号：JP2019201706
申请日：2019-11-06
Applicant: 株式会社豊田中央研究所 , 株式会社デンソー
IPC: G01P15/125 , G01P15/08 , G01C19/5755 , H01L29/84 , B81B3/00 , G01C19/5769
Abstract: 【課題】回路基板等の熱変形による応力を緩和可能なMEMS構造体を提供する。 【解決手段】MEMS構造体は、平板部と、MEMSセンサと、支持枠体と、支持部と、キャップ部と、基板と、を備える。MEMSセンサは、平板部の表面に形成されている。支持枠体は、平板部を垂直上方からみたときに平板部の周囲を取り囲むように配置されている。支持部は、平板部の外周部と支持枠体の内周部との一部を接続する梁形状の支持部である。支持部は、平板部またはMEMSセンサを構成している材料と同一材料で構成されており、平板部を空中に支持する。キャップ部は、支持枠体の上部を塞ぐ。キャップ部は、平板部の表面とキャップ部の底面との間に第1の空間を形成する。基板は、支持枠体の下部を塞ぐ。基板は、平板部の底面と基板の表面との間に第2の空間を形成する。第1の空間および第2の空間の気密性が保たれている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017173351A
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：JP2016055594
申请日：2016-03-18
Applicant: 株式会社豊田中央研究所 , 株式会社デンソー , 株式会社デンソーウェーブ
Abstract: 【課題】消音用構造体を可動部とは別個に設けることなく、MEMS装置が発生する騒音を抑制することが可能な技術を提供する。 【解決手段】本明細書が開示するMEMS装置は、可動部と、支持部と、可動部が支持部に対して相対的に移動可能に可動部と支持部の間を連結する連結部を備えている。そのMEMS装置では、可動部の可動範囲が大きな箇所近傍に、可動部を動かすために必要な空隙と、空気を逃がすための空隙を有する。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017008960A
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：JP2015121813
申请日：2015-06-17
Applicant: 株式会社豊田中央研究所
Abstract: 【課題】流体の挙動を制御することが可能な技術を提供する。 【解決手段】複数のビーム4と、複数のビームの間隔を調整するビーム間隔調整機構6を備え、複数のビームは基準面に沿って配置されており、ビーム間隔調整機構が、複数のビームを前記基準面に沿う方向に相対変位させることで、複数のビームの間隔を調整する。また、ビーム間隔調整機構が、複数のビームを基準面に垂直な方向に相対変位させることで、複数のビームの間隔を調整する 【選択図】図2
Abstract translation: 为了提供能够控制流体技术的行为。 和多个梁4，包括光束间隔调整机构6，用于调整所述多个束的间距，多个光束沿参考平面布置，光束间隔调整机构中，多个梁的 这是相对位移在沿参考平面的方向上，以调整多个光束的间距。 束间隔垂直调节机构，通过相对位移的方向上的基准平面的多个光束，以调整多个光束的间距.The
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公开(公告)号：JP2019203783A
公开(公告)日：2019-11-28
申请号：JP2018098798
申请日：2018-05-23
Applicant: 株式会社豊田中央研究所 , 株式会社デンソー
Abstract: 【課題】ゲージ率が高く、搬送や接着の際のハンドリングが容易な、歪ゲージを製造することが可能な技術を提供する。 【解決手段】本明細書は、歪ゲージの製造方法を開示する。その方法は、単結晶シリコン層に、ゲージ部材と、前記ゲージ部材に接続されたパッド部材と、前記パッド部材に接続された支持梁と、前記支持梁に接続された支持部材を一体的に形成する工程であって、前記単結晶シリコン層の結晶面が(110)面であり、前記ゲージ部材の長手方向と、前記支持梁の長手方向が、前記単結晶シリコン層の 方位に略一致する工程と、前記支持梁を破断させて、前記ゲージ部材と前記パッド部材を前記支持部材から分離する工程を備えている。 【選択図】図11
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公开(公告)号：JP2018185402A
公开(公告)日：2018-11-22
申请号：JP2017086374
申请日：2017-04-25
Applicant: 株式会社豊田中央研究所
Inventor： 島岡 敬一
Abstract: 【課題】可動部の周縁を基準面上で転がしながら可動部を回転させる光偏向器において、可動部の状態を特定することが可能な技術を提供する。 【解決手段】本明細書が開示する光偏向器は、基準面を有する基部と、基部に固定されており、基準面より上方に突出する導電性の支持柱と、光を反射する反射面を備える可動部であって、周縁を基準面上で転がしながら回転可能に支持柱に支持されており、少なくとも支持点と周縁の間で導電性を有する可動部と、可動部を回転駆動する駆動装置と、基準面に設けられた導電性を有する検出器であって、所定の方位角に沿って伸びる検出部と、検出部の端部に設けられた電極部を備える検出器と、電極部と支持柱との間での電気的導通の有無を検出する処理装置を備えている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017151364A
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：JP2016035523
申请日：2016-02-26
Applicant: 株式会社豊田中央研究所
Abstract: 【課題】可動部の周縁を接触させながら可動部をヨー軸周りに回転させる偏向器において、可動部が支持点から滑った状態で回転することを抑制することが可能な技術を提供する。 【解決手段】本明細書が開示する偏向器は、基準面と、基準面から上方にオフセットした支持点を有する基部と、支持点に支持された可動部であって、ピッチ軸、ロール軸およびヨー軸の三軸に関して揺動可能であって、かつ支持点に対してスライド可能な可動部と、反射面がヨー軸に直交するように可動部に形成された反射部と、可動部の周縁を基準面に接触させながら可動部をヨー軸周りに回転駆動する駆動機構を備えている。その偏向器では、可動部に、可動部の重心を支持点に近づけるための重量付加部が形成されている。 【選択図】図1
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