公开(公告)号：JP6048670B2

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：JP2013067054

申请日：2013-03-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 一戸 大吾 ,  露木 亮太 ,  西 信弘 ,  斎藤 明夫 ,  西川 耕二

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/40 ,  G03F7/033 ,  C08F265/06 ,  C08F2/44

公开(公告)号：JP5929496B2

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：JP2012113787

申请日：2012-05-17

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 中川 剛志 ,  西川 耕二

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 ,  G03F7/027 ,  C08F2/50 ,  C08F2/44 ,  G02B5/20 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  G03F7/031