パターン形成方法
    7.
    发明专利

    公开(公告)号:JPWO2016043200A1

    公开(公告)日:2017-07-06

    申请号:JP2016548899

    申请日:2015-09-15

    IPC分类号: G03F7/004 G03F7/20 G03F7/32

    摘要: 本発明は、膜を形成する工程、膜を露光する工程及び露光された膜を現像する工程を備え、膜を、加水分解性基を有する遷移金属化合物、加水分解性基を有する遷移金属化合物の加水分解物、加水分解性基を有する遷移金属化合物の加水分解縮合物又はこれらの組み合わせである金属含有化合物と式(1)で表される有機化合物とを混合して得られる錯体を含有する感放射線性組成物を用いて形成するパターン形成方法である。下記式(1)中、R1は、n価の有機基である。nは、1〜4の整数である。nが1の場合、Xは、−COOHである。nが2〜4の場合、Xは、−OH、−COOH、−NCO、−NHRa、−COORA又は−CO−C(RL)2−CO−RAである。Raは、水素原子又は1価の有機基である。RAは、それぞれ独立して、1価の有機基である。RLは、それぞれ独立して、水素原子又は1価の有機基である。