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公开(公告)号：JP6492444B2
公开(公告)日：2019-04-03
申请号：JP2014153350
申请日：2014-07-28
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , C08F220/28 , C08F220/24 , C08F230/08 , G03F7/075 , G03F7/039
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公开(公告)号：JP2015072455A
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：JP2014153350
申请日：2014-07-28
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , H01L21/027 , C08F220/28 , C08F220/24 , C08F230/08 , G03F7/075 , G03F7/039
Abstract: 【課題】優れた撥水性を有し、塗布性が良好であり、かつ十分な放射線感度を有する感放射線性樹脂組成物を提供することを目的とする。また、当該感放射線性樹脂組成物を調製するための重合体組成物、当該感放射線性樹脂組成物から形成される硬化膜及び当該硬化膜を備える電子デバイスを提供することを目的とする。 【解決手段】本発明は、酸解離性基を含む第1構造単位と、架橋性基を含む第2構造単位と、フルオロアルキル基及びシロキサン結合を有する基の少なくとも一方を含む第3構造単位とを有する重合体成分、並びに感放射性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物である。本発明はまた、上記第1構造単位と、上記第2構造単位と、上記第3構造単位とを有する重合体成分を含む重合体組成物である。本発明はまた、当該感放射線性樹脂組成物から形成される硬化膜である。本発明はまた、当該硬化膜を備える電子デバイスである。 【選択図】なし
Abstract translation: 要解决的问题：为了提供具有优异的防水性，良好的涂布性和足够的辐射敏感性的辐射敏感性树脂组合物，以提供用于制备辐射敏感性树脂组合物的聚合物组合物，以提供由辐射形成的固化膜 敏感性树脂组合物，并提供具有固化膜的电子器件。溶解性：该辐射敏感性树脂组合物含有：具有包含酸解离基团的第一结构单元的聚合物组分，包含可交联基团的第二结构单元， 和包含氟代烷基和具有硅氧烷键的基团中的至少一个的第三结构单元; 和辐射敏感的酸发生器。 聚合物组合物包含具有如上所述的第一结构单元，第二结构单元和第三结构单元的聚合物组分。 固化膜由辐射敏感性树脂组合物形成。 电子装置具有固化膜。
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