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公开(公告)号：JP2019067745A
公开(公告)日：2019-04-25
申请号：JP2018086043
申请日：2018-04-27
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/28 , G01N23/2251 , G01N23/2204 , H01L21/68 , H01J37/20
Abstract: 【課題】 本発明は、Z軸機構を有するステージの視野位置決め精度の向上を実現するステージ装置の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するために、試料を第1の方向に移動させる第1のテーブル(105)と、当該第1のテーブルを前記第1の方向とは異なる第2の方向に移動させる第2の駆動機構(601)と、第1のテーブルの位置を計測するレーザ干渉計光軸(115)を第2の方向に可動させる機能を備えたことを特徴とする試料ステージ装置を提案する。 【選択図】 図8
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公开(公告)号：JP2018037175A
公开(公告)日：2018-03-08
申请号：JP2016167476
申请日：2016-08-30
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , B23Q1/72 , F16C29/001 , F16C29/004 , F16C29/0673 , G12B5/00 , H01J2237/2062 , H01L21/68785
Abstract: 【課題】 本発明は、簡易な構成でガイドの転動体の移動に起因するテーブル変形を抑制することのできる荷電粒子線装置の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するために本発明では、キャリッジ(201)と転動体とガイドレール(202)を有するリニアガイドと、テーブル(105)を有する試料ステージにおいて、キャリッジ(201)とテーブル(105)の間を弾性変形可能な部材であるアダプタ(401)を介して接続することを特徴とする歪み絶縁ガイド構造、および前記ガイド構造を用いたステージ、および前記ステージを用いた荷電粒子線装置を提案する。 【選択図】 図5
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公开(公告)号：JP2018005975A
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：JP2016126168
申请日：2016-06-27
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
CPC classification number: F16F15/03 , F16F7/1005 , F16F15/02 , G03F7/709 , H01J37/16
Abstract: 【課題】 本発明は、取り付け、取り外しを容易に行うことが可能な荷電粒子線装置に取り付けられる振動抑制機構の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子線装置の鏡筒の外壁に沿った形状の内壁面を有する第1の弧状部材(21a)と、前記荷電粒子線装置の鏡体の外壁に沿った形状の内壁面を有し、前記第1の弧状部材との接続によって、前記荷電粒子線装置鏡体の外壁を包囲する環状部材となる第2の弧状部材(21b)と、両者を締結する締結部材(21c)と、弧状部材に取り付けられる振動センサ(23)と、振動センサの出力に応じて動作するアクチュエータ(22)を備え、接続部材による接続を解除することによって取り外しが可能な振動抑制機構を提案する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2018005974A
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：JP2016126167
申请日：2016-06-27
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J2237/26 , H01J2237/2809
Abstract: 【課題】ステージ移動直後の撮像中におけるステージ変形等に伴う像ドリフトを補正することが可能な荷電粒子線装置を提供する。 【解決手段】試料室1と、試料室1内に配置される試料ステージ22、23と、荷電粒子線4を放出する荷電粒子線源5と、荷電粒子線源5から放出される荷電粒子線4を偏向する偏向器21と、荷電粒子線4を集束する集束レンズと、試料ステージ22、23と偏向器21を制御する制御装置6とを備える荷電粒子線装置であって、制御装置6は、試料ステージ駆動時の推力情報と、試料ステージ22、23の位置毎に割り当てられた係数に基づいて、偏向器21に供給する偏向信号を算出する。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP6186210B2
公开(公告)日：2017-08-23
申请号：JP2013174073
申请日：2013-08-26
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/202 , H01J2237/20221 , H01J2237/20278 , H01J2237/2801
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公开(公告)号：JP2017050041A
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：JP2013261962
申请日：2013-12-19
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
CPC classification number: H01J37/185 , H01J2237/184
Abstract: 【課題】特定周波数によってもたらされる画像障害の抑制と、小型化の両立が可能な荷電粒子線装置を提供する。 【解決手段】試料搬送装置12を備えた荷電粒子線装置であって、試料搬送機構12との間に間隙21をもって配置されると共に、荷電粒子線カラムと試料室を包囲する防音カバー13を備え、当該カバーと前記試料搬送装置の配列方向である第1の方向が面方向であるカバーの壁面に、開口が設けられると共に、当該開口は、前記カバーの前記第1の方向の中心位置から、当該壁面の第1の方向の長さの1/8以内の位置に設けられる。 【選択図】図6
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公开(公告)号：JP2016184567A
公开(公告)日：2016-10-20
申请号：JP2015169970
申请日：2015-08-31
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Abstract: 【課題】 本発明は、ブレーキ機構を採用することによって生じるステージ構造の変形を伴うステージの位置ずれを抑制するステージ装置、及びそれを用いた荷電粒子線装置の提供を目的とする。 【解決手段】 本発明では、ベース(7)と、当該ベースに対して所定の移動方向に移動可能なテーブル(4、5)と、当該テーブルを前記移動方向に移動させる駆動機構(14、15)と、前記当該テーブルの移動方向とは異なる方向から当該テーブルを押圧する押圧機構(16)と、前記テーブルの位置を検出する位置検出装置(10)と、テーブル位置情報に応じて前記押圧機構を制御する制御装置を備え、当該制御装置は、前記押圧機構による押圧前後の前記テーブル位置を求め、当該押圧前後の前記テーブルの位置の変化に応じて、前記駆動機構及び前記押圧機構の少なくとも1つを制御するステージ装置を提案する。 【選択図】 図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种台架设备，其抑制由于采用制动机构而导致的台架结构的变形引起的台架的位置偏移，以及装备有该载物台的带电粒子束设备。解决方案： 在本发明中，提出了一种舞台装置，包括：基座（7）; 工作台（4,5）能够在预定的移动方向上相对于基座移动; 驱动机构（14,15），沿着移动方向移动工作台; 按压机构（16）沿与桌子的移动方向不同的方向按压桌子; 检测台的位置的位置检测装置（10）; 以及控制装置，根据表位置信息来控制按压机构。 控制装置确定桌子在按压机构按压之前和之后的位置，并且根据桌子被压下之前和之后的桌子的位置之间的差来控制驱动机构和按压机构中的至少一个 图1
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