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公开(公告)号：JP2017015647A
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：JP2015135123
申请日：2015-07-06
Applicant: 株式会社豊田中央研究所 , 豊田合成株式会社
IPC: G01N21/954 , G01B11/30
Abstract: 【課題】底部に開口が形成された、すり鉢状の鏡面の検査を従来よりも簡易に行う表面検査装置を提供する。 【解決手段】表面検査装置10は、縞部材12、撮像器14、及び演算部18を備える。縞部材12は、円筒または円柱形状であって、その中心軸がすり鉢鏡面24の高さ方向に沿うようにして底部開口25に配置されるとともに、外周面に中心軸方向に沿った縦縞が周方向に配列された縞パターン26が形成されている。撮像器14は、縞部材12とはすり鉢鏡面24の高さ方向に離間するように配置され、縞パターン26が写り込んだすり鉢鏡面24を撮像する。回転手段16は、撮像器14及びすり鉢鏡面24と、縞部材12とを、縞部材12の中心軸C周りに相対回転させる。演算部18は、相対回転の際に撮像された、すり鉢鏡面24の複数の撮像画像を重ね合わせた重ね合わせ画像に基づいて、すり鉢鏡面24上の凹凸及び粗面の少なくとも一方の有無を検出する。 【選択図】図1
Abstract translation: 形成在底部的孔，以提供容易地比锥形反射镜的传统的检查进行的表面检查装置。 一种表面检查装置10设置有一个边缘构件12，成像器14，以及运算单元18。 边缘构件12具有圆筒状或圆柱状，其中心轴被设置在底部开口25，以便沿着该砂浆镜24的高度方向是纵向条纹沿中心轴到外周面周长 的方向排列的条纹图案26形成。 成像装置14，边缘构件12被设置成在砂浆镜24倍的图像的砂浆镜24花式通过条纹图案26的高度方向上分离。 旋转装置16包括成像单元14和砂浆镜24，和边缘构件12，相对于周围的边缘构件12的中心轴线C转动。 计算单元18，相对旋转期间捕获，多个通过叠加砂浆镜24的所捕获的图像，用于检测对砂浆镜24不均匀且表面粗糙的存在或不存在中的至少一个获得的叠加图像的基础上 。 点域1
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公开(公告)号：JP2015152377A
公开(公告)日：2015-08-24
申请号：JP2014025242
申请日：2014-02-13
Applicant: 株式会社豊田中央研究所 , 国立大学法人名古屋大学
Abstract: 【課題】従来よりも高精度の欠陥検出が可能となる、ミリ波イメージング装置を提供する。 【解決手段】送信器12は、ミリ波帯域内で周波数掃引された電磁波を検査対象21に放射する。演算部44は、検査対象21表面の一点における、周波数別の反射係数の振幅成分の極小値を取る周波数を抽出するとともに、抽出された周波数の、検査対象21表面の2次元座標に沿った2次元画像を生成する。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够实现比以前更高精度的缺陷检测的毫米波成像装置。解决方案：发射机12发射以毫米波频带扫频的电磁波到测试对象21.算术逻辑单元44提取 以测试对象21表面上的一个点处的每个频率的反射系数的振幅分量的最小值的频率，并且生成提取的频率的二维图像，该二维图像沿着 测试对象21表面。
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