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    13族元素窒化物層、自立基板、機能素子および13族元素窒化物層の製造方法
    33.
    发明专利
    13族元素窒化物層、自立基板、機能素子および13族元素窒化物層の製造方法 有权

    公开(公告)号：JPWO2019187737A1

    公开(公告)日：2021-03-25

    申请号：JP2019005240

    申请日：2019-02-14

    Applicant: 日本碍子株式会社

    Inventor： 坂井 正宏 ,  吉野 隆史 ,  今井 克宏 ,  倉岡 義孝

    IPC: C30B9/10 ,  H01L21/205 ,  C23C16/34 ,  C30B29/38

    Abstract: 【課題】略法線方向で特定結晶方位に配向した複数の単結晶粒子で構成された13族元素窒化物結晶層において、表面の転位欠陥を低減し、機能層の歩留りおよび効率を改善できるようにする。 【解決手段】多結晶13族元素窒化物からなる13族元素窒化物層 が、略法線方向で特定結晶方位に配向した複数の単結晶粒子で構成されている。13族元素窒化物が窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶からなる。13族元素窒化物層が上面及び底面を有しており、前記上面におけるX線ロッキンカーブの(1000)面反射の半値幅が20000秒以下、1500秒以上である。 【選択図】 図1

    13族元素窒化物結晶層、自立基板および機能素子
    35.
    发明专利
    13族元素窒化物結晶層、自立基板および機能素子 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020073439A

    公开(公告)日：2020-05-14

    申请号：JP2019233204

    申请日：2019-12-24

    Applicant: 日本碍子株式会社

    Inventor： 平尾 崇行 ,  中西 宏和 ,  市村 幹也 ,  下平 孝直 ,  坂井 正宏 ,  吉野 隆史

    IPC: C30B19/02 ,  C30B25/18 ,  H01L21/208 ,  C30B29/38

    Abstract: 【課題】窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶から選択された13族元素窒化物結晶からなり、上面及び底面を有する13族元素窒化物結晶層において、転位密度を低くでき、全体にわたって特性のばらつきを少なくできるような微構造を提供する。 【解決手段】13族元素窒化物結晶層13の上面13aをカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部5と、高輝度発光部5に隣接する低輝度発光領域6とを有する。高輝度発光部5が、13族元素窒化物結晶13のm面に沿って伸びている部分を含む。 【選択図】 図1

    13族元素窒化物層、自立基板および機能素子
    36.
    发明专利
    13族元素窒化物層、自立基板および機能素子 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2019038933A1

    公开(公告)日：2020-02-27

    申请号：JP2017034035

    申请日：2017-09-21

    Applicant: 日本碍子株式会社

    Inventor： 平尾 崇行 ,  中西 宏和 ,  市村 幹也 ,  下平 孝直 ,  坂井 正宏 ,  吉野 隆史

    IPC: H01L33/32 ,  H01L33/16

    Abstract: 【課題】窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶から選択された13族元素窒化物結晶からなり、上面及び底面を有する13族元素窒化物結晶層において、転位密度を低くでき、全体にわたって特性のばらつきを少なくできるような微構造を提供する。 【解決手段】13族元素窒化物結晶層13の上面13aをカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部5と、高輝度発光部5に隣接する低輝度発光領域6とを有する。高輝度発光部5が、13族元素窒化物結晶13のm面に沿って伸びている部分を含む。 【選択図】 図1

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