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公开(公告)号：JPWO2019039208A1
公开(公告)日：2020-11-12
申请号：JP2018028563
申请日：2018-07-31
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C30B29/38 , H01L21/338 , H01L29/778 , H01L29/812 , H01L21/208 , H01L33/16 , H01L33/32
Abstract: 13族元素窒化物結晶層13の上面13aをカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部5と、高輝度発光部5に隣接する低輝度発光領域6とを有する。上面13aにおけるX線ロッキングカーブの(0002)面反射の半値幅が3000秒以下、20秒以上であり、上面13aの算術平均粗さRaが0.05nm以上、1.0nm以下である。 【選択図】 図1
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公开(公告)号：JPWO2019039055A1
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：JP2018022796
申请日：2018-06-14
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 【課題】上面及び底面を有する13族元素窒化物結晶層において、転位欠陥を抑制でき、機能素子の歩留りを改善し、特性を向上させることができるようにする。 【解決手段】サファイア基板25を表面処理(矢印K)することによってアルミニウム酸化物層2を形成し、アルミニウム酸化物層2上に、13族元素窒化物からなる種結晶膜を形成し、種結晶膜上に、窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶から選ばれた13族元素窒化物からなる13族元素窒化物層を設ける。 【選択図】 図1
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公开(公告)号：JPWO2017163548A1
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：JP2017535110
申请日：2017-01-13
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C30B29/38
CPC classification number: H01L21/0254 , C30B1/023 , C30B19/02 , C30B19/12 , C30B29/406 , C30B33/06 , C30B33/08 , H01L21/0242 , H01L21/02458 , H01L21/0262 , H01L21/02694
Abstract: 支持基板1上に、13族元素窒化物からなる種結晶層2を設ける。支持基板1側からレーザ光Aを照射することによって支持基板と種結晶層3との界面に沿って13族元素窒化物からなる変質部4を設ける。変質部4が転位欠陥導入部またはアモルファス部である。【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JPWO2019039190A1
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：JP2018028207
申请日：2018-07-27
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 【課題】13族元素窒化物結晶層13の上面13aをカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部5と、高輝度発光部5に隣接する低輝度発光領域6とを有する。上面13aにおけるX線ロッキングカーブの(0002)面反射の半値幅が3000秒以下、20秒以上であり、酸素原子の含有量が1×10 18 atom/cm 3 以下であり、珪素原子、マンガン原子、炭素原子、マグネシウム原子およびカルシウム原子の含有量がそれぞれ1×10 17 atom/cm 3 以下であり、クロム原子の含有量が1×10 16 atom/cm 3 以下であり、塩素原子の含有量が1×10 15 atom/cm 3 以下である。 【選択図】 図1
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公开(公告)号：JPWO2019039342A1
公开(公告)日：2020-09-17
申请号：JP2018030222
申请日：2018-08-13
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 窒化ガリウム基板は、上面及び底面を有する。上面をカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部と、前記高輝度発光部に隣接する低輝度発光領域とを有しており、弾性定数C11が200GPa以上、290GPa以下である。 【選択図】 図1
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公开(公告)号：JP2020073438A
公开(公告)日：2020-05-14
申请号：JP2019233196
申请日：2019-12-24
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C30B19/02 , C30B25/18 , H01L21/208 , C30B29/38
Abstract: 【課題】窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶から選択された13族元素窒化物結晶からなり、上面及び底面を有する13族元素窒化物結晶層において、転位密度を低くでき、全体にわたって特性のばらつきを少なくできるような微構造を提供する。 【解決手段】13族元素窒化物結晶層13の上面13aをカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状の高輝度発光部5と、高輝度発光部5に隣接する低輝度発光領域6とを有する。上面13aにおけるX線ロッキングカーブの(0002)面反射の半値幅が3000秒以下、20秒以上であることを特徴とする。 【選択図】 図1
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