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公开(公告)号:JP2021155467A
公开(公告)日:2021-10-07
申请号:JP2020053887
申请日:2020-03-25
Applicant: 東レ株式会社
Abstract: 【課題】樹脂中の、反応性の低いシルセスキオキサン構造のため、感光性樹脂組成物として、感光性を付与することが難しく、また、平坦化性と、微細パターン加工性、パターン寸法安定性の両立が困難であった。さらに、感光剤や架橋剤、溶解促進剤などとの相溶性が不十分であり、塗布膜が白濁したり、現像ムラや現像残渣が出るなどの課題があった。 【解決手段】ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリイミド前駆体、ポリベンゾオキサゾール前駆体およびそれら2種類以上の共重合体からなる群より選ばれる1種類以上の樹脂(A)であって、該樹脂(A)がシルセスキオキサン構造を有し、該樹脂(A)の主鎖および/または末端に、ジメチルスルホキシド中での酸解離定数が13.0以上23.0以下である弱酸性基を有する樹脂(A)。 【選択図】なし
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公开(公告)号:JPWO2019150938A1
公开(公告)日:2020-11-26
申请号:JP2019000949
申请日:2019-01-15
Applicant: 東レ株式会社
IPC: G03F7/037 , G03F7/004 , G03F7/027 , H01L51/50 , H01L27/32 , H05B33/12 , H05B33/22 , H05B33/02 , H05B33/10 , G02F1/1339 , G02F1/1335 , G03F7/20 , G09F9/00 , G09F9/30 , C08G73/06 , G03F7/031
Abstract: 本発明は、高感度であり、顔料起因の現像残渣の発生を抑制することでき、耐熱性及び遮光性に優れた硬化膜及びそれを形成するネガ型感光性樹脂組成物を得ることを課題として、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)ラジカル重合性化合物、(C)光重合開始剤及び(Da)黒色顔料を含有し、(A)アルカリ可溶性樹脂が、(A1−1)ポリイミド、(A1−2)ポリイミド前駆体、(A1−3)ポリベンゾオキサゾール、及び(A1−4)ポリベンゾオキサゾール前駆体から選ばれる1種類以上を含み、(C)光重合開始剤が少なくとも、(C1)オキシムエステル系光重合開始剤及び(C2)α−ヒドロキシケトン系光重合開始剤を含み、前記(C)光重合開始剤に占める、前記(C1)オキシムエステル系光重合開始剤の含有比率が51〜95質量%であり、前記(Da)黒色顔料の含有比率が、ネガ型感光性樹脂組成物の全固形分中における5〜50質量%であるネガ型感光性樹脂組成物を得ること、および、これを用いることを本旨とする。 【選択図】図6
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公开(公告)号:JP6601218B2
公开(公告)日:2019-11-06
申请号:JP2015551908
申请日:2015-10-01
Applicant: 東レ株式会社
IPC: C08J5/18 , C08K5/13 , C08L79/04 , C08L61/06 , C08L25/18 , G03F7/20 , H01L21/336 , H01L29/786 , H01L21/768 , H01L23/532 , C08J7/00 , C08L101/02
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公开(公告)号:JPWO2018116988A1
公开(公告)日:2019-10-24
申请号:JP2017045150
申请日:2017-12-15
Applicant: 東レ株式会社
Abstract: 光学特性に優れた画素分割層(8)および/または平坦化層(4)を具備していながら、優れた発光信頼性を有する有機EL表示装置を提供する。第一電極(10)、画素分割層(8)、発光画素(9)、第二電極(5)、平坦化層(4)および基材(6)を具備する有機EL表示装置であって、画素分割層(8)および/または平坦化層(4)が、構造式(1)で表されるベンズイミダゾロン構造を有する黄色顔料を含有する、有機EL表示装置。
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公开(公告)号:JPWO2018003808A1
公开(公告)日:2019-04-18
申请号:JP2017023602
申请日:2017-06-27
Applicant: 東レ株式会社
Abstract: 本発明は、高い顔料の分散性安定性を有し、かつ現像時における未露光部の残渣を低減できるネガ型感光性樹脂組成物を提供する。本発明は、 (A)アルカリ可溶性樹脂、(B)0を超えるアミン価を有する分散剤、(C)アミド構造を有するベンゾフラノン系有機顔料、(D)ラジカル重合性化合物、及び(E)光重合開始剤を含有するネガ型感光性樹脂組成物であって、前記(A)アルカリ可溶性樹脂が、 (A1)ポリイミド、(A2)ポリイミド前駆体、(A3)ポリベンゾオキサゾールおよび(A4)ポリベンゾオキサゾール前駆体からなる群より選択される1種類以上を含み、かつ、前記(B)0を超えるアミン価を有する分散剤が、(B1)一般式(2)で表される繰り返し単位及び一般式(3)で表される繰り返し単位を含む分散剤と、(B2)アミン価が15〜60mgKOH/gのアクリルブロックコポリマーである分散剤及び/または(B3)ウレタン結合を有する分散剤と、を含む、ネガ型感光性樹脂組成物。 【化1】 (一般式(2)中、R 1 はアルキレン基を表す。R 2 及びR 3 はそれぞれ同じでも異なっていてもよく、水素、アルキル基またはヒドロキシル基を表す。xは0〜20の整数を表す。ただし、xが0のときはR 2 、R 3 の少なくともいずれかがアルキル基である。mは1〜100の整数を表す。一般式(3)中、nは1〜100の整数を表す。)
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公开(公告)号:JP2019045865A
公开(公告)日:2019-03-22
申请号:JP2018191572
申请日:2018-10-10
Applicant: 東レ株式会社
IPC: G03F7/075 , H01L27/32 , H05B33/02 , H05B33/12 , H01L51/50 , H05B33/22 , H05B33/10 , H05B33/04 , H05B33/26 , H05B33/28 , G03F7/20 , G09F9/30 , G09F9/00 , G03F7/027
Abstract: 【課題】高解像度かつ低テーパーのパターン形状で、耐熱性及び遮光性に優れた硬化膜を具備する表示装置を提供する。 【解決手段】ネガ型感光性樹脂組成物を硬化した硬化膜を具備する表示装置であって、前記ネガ型感光性樹脂組成物が、(A1)第1の樹脂、(A2)第2の樹脂、(C)光重合開始剤及び(D)着色剤を含み、(A1)第1の樹脂が、(A1−1)ポリイミド及び/又は(A1−2)ポリベンゾオキサゾールであり、(A2)第2の樹脂が、(A2−2)ポリベンゾオキサゾール前駆体、(A2−3)ポリシロキサン、(A2−4)カルド系樹脂、及び(A2−5)アクリル樹脂から選ばれる一種類以上であり、(A1)第1の樹脂及び(A2)第2の樹脂の合計100質量%に占める、(A1)第1の樹脂の含有比率が、25〜90質量%、硬化膜の膜厚1μm当たりの光学濃度が0.3〜5.0、硬化膜が硬化パターンを含み、その断面における傾斜辺のテーパー角が、1〜60°であることを特徴とする。 【選択図】図5
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公开(公告)号:JPWO2017159876A1
公开(公告)日:2019-01-17
申请号:JP2017011048
申请日:2017-03-17
Applicant: 東レ株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/038 , G02B5/20 , H01L51/50 , H05B33/12 , H05B33/22 , C08F290/00 , G03F7/20 , H01L27/32 , H05B33/10 , G09F9/00 , G03F7/004
Abstract: 高感度であり、ハーフトーン特性に優れ、低テーパーのパターン形状を得ることが可能で、アルカリ現像可能なネガ型感光性樹脂組成物を提供する。(A)アルカリ可溶性樹脂として、少なくとも(A1)弱酸性基含有樹脂及び(A2)不飽和基含有樹脂を含む、ネガ型感光性樹脂組成物であって、前記(A1)弱酸性基含有樹脂が、ジメチルスルホキシド中での酸解離定数が13.0〜23.0の範囲内である酸性基を有し、前記(A2)不飽和基含有樹脂が、エチレン性不飽和二重結合基を有する、ネガ型感光性樹脂組成物。
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公开(公告)号:JPWO2017159476A1
公开(公告)日:2019-01-17
申请号:JP2017009158
申请日:2017-03-08
Applicant: 東レ株式会社
IPC: C08L101/12 , G03F7/40 , G03F7/004 , G03F7/022 , H01L51/50 , H05B33/22 , H05B33/12 , H05B33/10 , G03F7/20 , C08L79/08 , C08L79/04 , C08K5/3445 , C08K5/42 , C08K5/13 , G03F7/023
Abstract: 発光輝度低下や画素シュリンクを引き起さず、長期信頼性に優れた硬化膜およびポジ型感光性樹脂組成物を提供する。アルカリ可溶性樹脂(a)と、光酸発生剤(b)と、環状アミド、環状ウレアおよびそれらの誘導体からなる群より選択される1種以上の化合物(c)と、熱架橋剤(d)を含む感光性樹脂組成物の硬化物からなる硬化膜であって、前記熱架橋剤(d)が、エポキシ化合物、オキセタニル化合物、イソシアネート化合物、酸性基を有するアルコキシメチル化合物および/または酸性基を有するメチロール化合物を含み、硬化膜中における化合物(c)の総含有量が0.005質量%以上5質量%以下であることを特徴とする。また前記アルカリ可溶性樹脂(a)、光酸発生剤(b)、化合物(c)、熱架橋剤(d)と、有機溶媒(e)を含有するポジ型感光性樹脂組成物であって、アルカリ可溶性樹脂(a)100質量部に対して化合物(c)を0.1質量部以上15質量部以下、有機溶媒(e)を100〜3000質量部含有することを特徴とする。
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