位置測定装置及び位置測定方法
    33.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2021041509A

    公开(公告)日:2021-03-18

    申请号:JP2019166653

    申请日:2019-09-12

    摘要: 【課題】回転砥石や回転するワークの位置を非接触で測定する位置測定装置を提供すること。 【解決手段】位置測定装置10は、回転砥石203に対して加圧流体を噴出可能なノズル204と加圧流体の圧力を検出するセンサ52とを有する位置検出装置5を用いる回転砥石203の位置測定装置10であって、回転砥石203とノズル204との隙間が設定された後に回転砥石203を所定の回転数で回転させると共にノズル204から加圧流体を噴出させた状態でセンサ52から出力される回転砥石203の位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する第1出力位置設定部101と、回転砥石203を回転させた状態でセンサ52から測定信号を取得する測定信号取得部106と、当該測定信号に基づいて回転砥石203の現在位置を測定する位置測定部107と、当該出力位置と当該現在位置が一致した際に出力信号を出力する出力部109とを備える。 【選択図】図1

    隙間調整型ノズル弁及び隙間調整型ノズル弁を用いた位置検出装置

    公开(公告)号:JP2019171516A

    公开(公告)日:2019-10-10

    申请号:JP2018062307

    申请日:2018-03-28

    发明人: 荒井 里志

    IPC分类号: G01B13/12 B23Q17/00

    摘要: 【課題】 この発明の目的は、流体供給源に接続された通路の最大圧力が高められる隙間調整型ノズル弁及び隙間調整型ノズル弁を用いた位置検出装置を提供する。 【解決手段】 流体を噴出する噴出ノズル1の開口面12と、この開口面12に対向する対向面4を備えた隙間調整体2とが備えられ、上記開口面12と上記対向面4との隙間量に応じて圧力が生成される隙間調整型ノズル弁V1を前提とする。そして、上記隙間調整体2の対向面4が曲面からなり、上記隙間調整体2の隙間設定基準となる位置で、上記噴出ノズル1の開口面12と隙間調整体2の対向面4との曲面が一致する。 【選択図】 図1

    隙間調整型ノズル弁及び隙間調整型ノズル弁を用いた位置検出装置

    公开(公告)号:JP6443871B1

    公开(公告)日:2018-12-26

    申请号:JP2018062307

    申请日:2018-03-28

    发明人: 荒井 里志

    IPC分类号: G01B13/12 B23Q17/00

    摘要: 【課題】 この発明の目的は、流体供給源に接続された通路の最大圧力が高められる隙間調整型ノズル弁及び隙間調整型ノズル弁を用いた位置検出装置を提供する。 【解決手段】 流体を噴出する噴出ノズル1の開口面12と、この開口面12に対向する対向面4を備えた隙間調整体2とが備えられ、上記開口面12と上記対向面4との隙間量に応じて圧力が生成される隙間調整型ノズル弁V1を前提とする。そして、上記隙間調整体2の対向面4が曲面からなり、上記隙間調整体2の隙間設定基準となる位置で、上記噴出ノズル1の開口面12と隙間調整体2の対向面4との曲面が一致する。 【選択図】 図1

    位置検出装置
    38.
    发明专利
    位置検出装置 审中-公开
    位置检测装置

    公开(公告)号:JP2016169946A

    公开(公告)日:2016-09-23

    申请号:JP2015047865

    申请日:2015-03-11

    IPC分类号: G01B13/12

    摘要: 【課題】広い測定レンジを実現することができ、測定データの連続性を確保することができる位置検出装置を提供する。 【解決手段】位置検出装置1は、被測定物Wに向けて加圧気体を噴出可能なノズル10と、第1のチャンバ11と第2のチャンバ12とを仕切る仕切壁30と、第1のチャンバ11内の圧力を測定する第1の圧力センサ41と、第2のチャンバ12内の圧力を測定する第2の圧力センサ42と、第1の圧力センサ41と第2の圧力センサ42の出力値の差に基づいて、被測定物Wがノズル10から所定の距離未満に近づいたことを検出する位置検出部50とを備えている。仕切壁30には、第1のチャンバ11と第2のチャンバ12とを連通するオリフィス32が形成される。オリフィス32は、第2のチャンバ12から第1のチャンバ11に向かって次第に径が小さくなる縮径部32Aと、縮径部32Aに接続され径が変化しない定径部32Bとを含んでいる。 【選択図】図1

    摘要翻译: 要解决的问题:提供一种能够实现宽测量范围并确保测量数据的连续性的位置检测装置。解决方案:位置检测装置1包括:能够将压力气体朝向 测量对象W; 用于在第一室11和第二室12之间分隔的分隔壁30; 用于测量第一室11中的压力的​​第一压力传感器41; 用于测量第二室12中的压力的​​第二压力传感器42; 以及位置检测单元50,用于基于第一压力传感器41和第二压力传感器42的输出值之间的差来检测测量对象W已经从喷嘴10接近规定距离或更小。一个孔32 使第一室11和第二室12连通。孔32包括直径减小部分32A,其中直径从第二室12逐渐减小到第一室11,直径部分 32B,连接到直径减小部分32A,其直径不变。选择图:图1