長尺基板の表面処理装置と表面処理方法
    41.
    发明专利
    長尺基板の表面処理装置と表面処理方法 有权
    长尺寸基板的表面处理装置和表面处理方法

    公开(公告)号:JP2016135896A

    公开(公告)日:2016-07-28

    申请号:JP2015011031

    申请日:2015-01-23

    Inventor: 大上 秀晴

    Abstract: 【課題】ガス漏れ防止用ガス吹込フード等を設けることなくキャンロール外周面と長尺フィルム間に簡便にガスを導入できる表面処理装置と表面処理方法の提供。 【解決手段】キャンロール56外周面のフィルム52搬入部と搬出部間におけるフィルム52が巻き付けられない非ラップ領域面と、非ラップ領域面の対向側に位置する前フィードロール55と後フィードロール61の各外周面と、これ等フィードロール55,61の隙間空間部に設けられたガス封止ロール65の外周面と、前フィードロール55とキャンロール56間並びにキャンロール56と後フィードロール61間を搬送されるフィルム52面とで囲まれた領域により構成された閉止空間と、該閉止空間内に真空チャンバー50外部からガスを供給するガス導入管66を備える表面処理装置。 【選択図】図2

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种表面处理装置和表面处理方法,其能够容易地在罐辊外周和长膜之间引入气体,而不提供用于防止气体泄漏的气体吹风罩等。解决方案:表面处理装置 包括:非卷绕区域面,膜52未被卷绕在承载部分与罐辊外周边56的外延部分的膜52之间; 前进料辊55的每个外圆周表面和位于非包裹区域面的相对侧的后进料辊61; 设置在进给辊55和61的间隙空间中的气体密封辊65的外周; 由前进料辊55和罐辊56包围的区域构成的封闭空间以及在罐辊56和后辊61之间输送的膜52; 以及用于将气体从真空室50的外部供给到封闭空间中的气体导入管66

    部材内に設けた空洞部への微細孔の貫通方法およびこれを用いたガス放出金属ロールの製造方法
    46.
    发明专利
    部材内に設けた空洞部への微細孔の貫通方法およびこれを用いたガス放出金属ロールの製造方法 有权
    使用成型体处理的密封件的精密孔的渗透方法和使用其的气体释放金属辊的制造方法

    公开(公告)号:JP2015116601A

    公开(公告)日:2015-06-25

    申请号:JP2013263114

    申请日:2013-12-19

    Inventor: 大上 秀晴

    Abstract: 【課題】 金属製部材の内部に設けた空洞部へのレーザ加工による穿孔の際に微細な孔が貫通したことを容易に判断できる方法を提供する。 【解決手段】 ガス放出金属ロールが有する外筒部のガス導入路にレーザ加工でガス放出孔を連通させる時のように、金属製部材の内部にその端面から一方向に延在するように設けられた空洞部に対して該一方向に交差する方向に延在する内径30μm〜1000μmの微細孔を該部材の外表面からレーザ加工で貫通させる方法であって、前記空洞部の前記端面における開口部からフッ素樹脂製のロッド30を挿入した状態でレーザ加工を行った後、前記ロッド30のレーザ痕32を調べることによって微細孔の貫通を確認する。 【選択図】 図5

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种能够容易地判断细孔渗透到根据激光加工的钻孔对设置在金属构件内部的空腔部分的方法。解决方案:在渗透方法中,具有 相对于从金属构件的边缘表面延伸到其一个方向的一个方向延伸到其内部的空腔部分,在与一个方向相交的方向上延伸的内径为30至1000μm,当连通气体 从气体释放金属辊的外圆筒部分的气体导入路径的释放孔从金属构件的外表面穿透。 其中,在从空腔部分的边缘表面上的开口部分插入由氟树脂制成的杆30的同时进行激光加工,然后研究棒30的激光标记32,从而研究细孔的穿透 确定孔。

    金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法

    公开(公告)号:JP2020132960A

    公开(公告)日:2020-08-31

    申请号:JP2019029150

    申请日:2019-02-21

    Inventor: 大上 秀晴

    Abstract: 【課題】湿式メッキ法で金属シード層(シード層)上に形成される金属膜にピンホールが生じ難い金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と方法を提供する。 【解決手段】真空成膜法で両面にシード層を成膜した長尺樹脂フィルム(フィルム)が層間に長尺合紙(合紙)を挟み込みながら巻回されたフィルム巻出ロールと、巻出ロールから巻き出されるフィルムから合紙を分離して巻き取る合紙巻取ロールと、合紙が分離されたフィルムを搬入し各シード層上に金属膜を形成する湿式メッキ槽と、金属膜が形成されたフィルムを巻き取るフィルム巻取ロールを備えた製造装置において、フィルム巻出ロールと湿式メッキ槽との間に、合紙が分離されたフィルムの各シード層表面を洗浄する第一大気圧プラズマヘッド701と第二大気圧プラズマヘッド702がフィルム10を挟んで対向して配置されたことを特徴とする。 【選択図】図4

    金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法

    公开(公告)号:JP2020132959A

    公开(公告)日:2020-08-31

    申请号:JP2019029149

    申请日:2019-02-21

    Inventor: 大上 秀晴

    Abstract: 【課題】湿式メッキ法で金属シード層(シード層)上に形成される金属膜にピンホールが生じ難い金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と方法を提供する。 【解決手段】真空成膜法でシード層を両面成膜した長尺樹脂フィルム(フィルム)が層間に合紙を挟み込みながら巻回されたフィルム巻出ロールと、フィルムから合紙を分離して巻き取る合紙巻取ロールと、合紙が分離されたフィルムを搬入し各シード層上に金属膜を形成する湿式メッキ槽と、金属膜が形成されたフィルムを巻き取るフィルム巻取ロールを備えた製造装置において、フィルム巻出ロールと湿式メッキ槽間に、合紙が分離されたフィルムの各シード層表面をプラズマ洗浄する第一洗浄部810と第二洗浄部820がフィルム10の搬送方向に沿って並んで設けられ、各洗浄部にはフィルム裏面側に回り込んだプラズマガスを排気して裏面酸化を防止する排気管が付設されていることを特徴とする。 【選択図】図7

    金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法

    公开(公告)号:JP2020066762A

    公开(公告)日:2020-04-30

    申请号:JP2018199073

    申请日:2018-10-23

    Inventor: 大上 秀晴

    Abstract: 【課題】湿式メッキ法で金属シード層上に形成される金属膜にピンホールが生じ難い金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法を提供する。 【解決手段】真空成膜法で金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルム601が層間に長尺合紙603を挟み込みながら巻回された長尺樹脂フィルム巻出ロール600と、該巻出ロール600から巻き出される長尺樹脂フィルムから長尺合紙を分離して巻き取る長尺合紙巻取ロール602と、長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムを搬入しその金属シード層上に金属膜を形成する湿式メッキ槽642〜645と、金属膜が形成された長尺樹脂フィルムを巻き取る長尺樹脂フィルム巻取ロール641を備えた金属膜付き樹脂フィルムの製造装置において、長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムの金属シード層表面を洗浄する大気圧プラズマ洗浄装置が上記巻出ロール600と湿式メッキ槽との間に設けられていることを特徴とする。 【選択図】図4

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