窒化ガリウム自立基板、発光素子及びそれらの製造方法
    43.
    发明专利
    窒化ガリウム自立基板、発光素子及びそれらの製造方法 审中-公开
    氮化硅自支撑基板,发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:JP2016001738A

    公开(公告)日:2016-01-07

    申请号:JP2015126714

    申请日:2015-06-24

    Abstract: 【課題】安価で且つ大面積化にも適した、窒化ガリウム単結晶基板の代替材料として有用な窒化ガリウム自立基板及びその製造方法の提供。 【解決手段】配向多結晶アルミナ焼結体上に、窒化ガリウムからなる種結晶層を、配向多結晶アルミナ焼結体の結晶方位に概ね倣った結晶方位を有するように形成する工程と、種結晶層上に、厚さ20μm以上の窒化ガリウム系結晶から構成される層の形成がNaフラックス法により行われ、種結晶層の結晶方位に概ね倣った結晶方位を有するように形成する工程と、配向多結晶アルミナ焼結体を除去する工程とを含む、窒化ガリウム自立基板12の製造方法。得られた窒化ガリウム自立基板12の表面に露出している窒化ガリウム系単結晶粒子の最表面における断面平均径D T に対する、窒化ガリウム自立基板12の厚さTの比として規定されるアスペクト比T/D T は0.7以上である。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种自支撑氮化镓衬底,其可用作氮化镓单晶衬底的替代材料,其便宜并且也适合于具有大的面积。解决方案:一种制造自支撑镓的方法 氮化物衬底12包括以下步骤:在取向多晶氧化铝烧结体上形成包含氮化镓的晶种层,使得晶种层具有大致与定向多晶氧化铝烧结体的晶体取向一致的晶体取向; 通过Na通量法在晶种层上形成厚度为20μm或更大的包含氮化镓基晶体的层,使得该层具有大部分与晶种层的晶体取向一致的晶体取向; 并去除定向多晶氧化铝烧结体。 长径比T / D,其定义为自支撑氮化镓基板12的厚度T与横截面平均直径Dat的比值,在顶表面暴露的氮化镓基单晶晶粒的最外表面 的所获得的自支撑氮化镓衬底12为0.7以上。

    配向セラミック焼結体の製法及びフラットシート

    公开(公告)号:JP6490881B1

    公开(公告)日:2019-03-27

    申请号:JP2018567325

    申请日:2018-10-24

    Abstract: 本発明の配向セラミック焼結体の製法は、(a)配向セラミック焼結体に焼成する前のセラミック成形体を作製する工程と、(b)セラミック成形体を一対の離型シートで挟んでホットプレス焼成炉内に配置し、一対の離型シートを介してセラミック成形体を一対のパンチで加圧しながらホットプレス焼成して配向セラミック焼結体を得る工程と、を含む。離型シートは、厚み75μmで表面の算術平均粗さRaが0.03μmのPETフィルムで挟んだ後、厚み10mmで表面の算術平均粗さRaが0.29μmのステンレス鋼板に載せて真空パックし、200kg/cm 2 で静水圧プレスを行った後のステンレス鋼板側とは反対側の面の断面曲線の最大断面高さPtが、0.8μm以下のものである。

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