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公开(公告)号：JP2018186203A
公开(公告)日：2018-11-22
申请号：JP2017087405
申请日：2017-04-26
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: B24B37/005 , B24B55/02 , B23Q41/08 , H01L21/677 , H01L21/02
Abstract: 【課題】基板処理装置のピーク電力を削減することができる基板処理方法を提供する。 【解決手段】基板処理方法は、研磨レシピから予想研磨時間を算出し、洗浄レシピから予想洗浄時間を算出し、予想研磨時間を研磨部内の研磨ユニットの数で割り算して研磨スループット指標値を算出し、予想洗浄時間を洗浄部内の洗浄レーンの数で割り算して洗浄スループット指標値を算出し、研磨スループット指標値が洗浄スループット指標値よりも大きい場合は、洗浄側基板搬送システムの動作加速度の設定値を下げ、洗浄スループット指標値が研磨スループット指標値よりも大きい場合は、研磨側基板搬送システムの動作加速度の設定値を下げる。 【選択図】図7
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公开(公告)号：JP2018178915A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017082157
申请日：2017-04-18
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】低コストの簡易な構造でインペラ30と回転軸10との組み付け強度を向上させることが可能なポンプ1を提供する。 【解決手段】ポンプ1は 一端側10Aから他端側10Bに向かうに従って径が大きくなるテーパ状の取付部25が外周面に設けられ、回転軸10に嵌合するスリーブ20と、回転軸10が挿通された軸挿通孔31aが主板31、及び主板31に複数取り付けられたブレード33を有し、主板31が取付部25に嵌合されたインペラ30とを備え、取付部25には、主板31との間に摩擦力を付与する摩擦付与部が設けられている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018178872A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017080421
申请日：2017-04-14
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】全体として圧力損失を抑制しつつ、吐出流路の下流での流れを均一化させることが可能な流体機械を提供する。 【解決手段】流体機械は、流体に作用する本体部20と、本体部20から吐出する流体を案内する複数の吐出流路100を備え、複数の吐出流路100の内の第一吐出流路101は、少なくとも一の箇所P1の断面が非円形形状とされていて、複数の吐出流路100の内の第一吐出流路101とは異なる第二吐出流路102は、第一吐出流路101の非円形状となる一の箇所P1と対応する箇所P2の断面が第一吐出流路101の一の箇所P1の断面形状と異なる形状である。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2018172850A
公开(公告)日：2018-11-08
申请号：JP2017069442
申请日：2017-03-31
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: E02B5/08
Abstract: 【課題】簡易に腐食状況を確認できる除塵スクリーンおよび簡易に除塵スクリーンの腐食状況を確認する方法を提供する。 【解決手段】排水機場に設置される除塵スクリーンであって、鉛直方向に延びるスクリーンバーと、前記スクリーンバーに着脱可能に取り付けられ、前記スクリーンバーと同材料の表面または前記スクリーンバーより腐食しやすい表面を有し、磁性を帯びた弱点ピースと、を備える除塵スクリーンが提供される。 【選択図】図2
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2018162675A
公开(公告)日：2018-10-18
申请号：JP2017058584
申请日：2017-03-24
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】小型の構造物で空気吸込渦の発生を防止でき、且つ、安定したポンプの運転を確保できる渦流防止装置の提供。 【解決手段】ポンプ10が設けられた吸込水槽20の渦流防止装置1であって、吸込水槽20の水面WLに浮遊可能な板状の浮遊体30と、浮遊体30の姿勢を一定に保つ姿勢制御手段40と、を有する、という構成を採用する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018162673A
公开(公告)日：2018-10-18
申请号：JP2017058582
申请日：2017-03-24
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】吸込水槽においてポンプの下流側における空気吸込渦の発生を防止できる渦流防止装置の提供。 【解決手段】ポンプ10が設けられた吸込水槽20の渦流防止装置1であって、吸込水槽20において、ポンプ10の下流側に配置された水中構造体30を有し、水中構造体30の上向き面30aは、ポンプ10に向かって上方に傾斜している、という構成を採用する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2018154891A
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：JP2017054235
申请日：2017-03-21
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】配管フランジから着脱可能なアノード電極部材と、このアノード電極部材を用いて電気防食が可能な電気防食システムとを提供する。 【解決手段】アノード電極部材1は、配管フランジ11A、11Bに着脱可能である。アノード電極部材1は、配管10A、10Bの長手方向に延びる主部2と、主部2の内部に設けられ、流体が流動する流路3と、流体の流動方向における上流側Uから下流側Dに向けて徐々に小さくなる内径4dを有し、流路3の上流側Uに設けられたテーパ部4と、流体の流動方向における上流側Uに位置し、配管10A、10Bの内径に略等しい外径5dを有する大径部5と、流体の流動方向における下流側Dに位置し、大径部5の外径5dよりも小さい外径6dを有し、配管10Aの内部に向けて延在する小径部6と、主部2の外面から外側に突出し、配管フランジ11A、11Bに接触可能な突起部7とを有する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018136467A
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：JP2017031673
申请日：2017-02-23
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: G02B23/24
Abstract: 【課題】内視鏡を用いてポンプ内部を点検する際に、内視鏡が観察している位置を正確に把握できる観察装置を提供する。 【解決手段】観察装置は、ポンプのケーシング内面を観察する内視鏡21と、内視鏡と一緒に移動され、内視鏡が観察している位置に対して予め定められた位置関係にある加熱位置をケーシングの内側から加熱する加熱装置22aと、ケーシングの外側から前記ケーシング表面の温度分布を測定するサーモグラフィ23と、を備える。 【選択図】図1
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