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    光学膜、スパッタリングターゲットおよび光学膜の成膜方法
    71.
    发明专利
    光学膜、スパッタリングターゲットおよび光学膜の成膜方法 有权

    公开(公告)号：JP2021085043A

    公开(公告)日：2021-06-03

    申请号：JP2019212244

    申请日：2019-11-25

    Applicant: 住友金属鉱山株式会社

    Inventor： 大上 秀晴

    IPC: C23C14/34 ,  C03C17/245 ,  C03C17/34 ,  C23C14/08

    Abstract: 【課題】成膜条件が簡便に求められる光学膜(セシウムとタングステンと酸素を含む複合タングステン酸化物膜)とスパッタリングターゲットおよび成膜方法を提供する。 【解決手段】本発明の光学膜は、可視波長域に透過性を有し、近赤外波長域に吸収性を有すると共に電波透過性を有し、セシウムとタングステンと酸素を含み、300nmおよび400nm〜2400nmの波長域を200nm毎に区分して特定される各波長[400nm、600nm、……2400nm]の屈折率nと消衰係数kが、図1に示す光学定数波長分散グラフ図における屈折率の最大値と最小値をグラフ化した「n-max」と「n-min」の範囲内、および、上記光学定数波長分散グラフ図における消衰係数の最大値と最小値をグラフ化した「k-max」と「k-min」の範囲内にそれぞれ設定されていることを特徴とする。 【選択図】図1

    成膜装置と成膜方法
    75.
    发明专利
    成膜装置と成膜方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020033614A

    公开(公告)日：2020-03-05

    申请号：JP2018161698

    申请日：2018-08-30

    Applicant: 住友金属鉱山株式会社

    Inventor： 大上 秀晴

    IPC: C23C16/455 ,  C23C14/34

    Abstract: 【課題】真空チャンバー内に導入されたスパッタガス、原料ガス等のガス分布が均一化されるPVD若しくはCVD成膜装置と成膜方法を提供すること。 【解決手段】基板ホルダーとガスプレートを備える成膜装置において、ガスプレートがガスプレート本体51とガス経路管54とで構成され、ガス経路管が、ガス導入口52を中央に有しガス導入口から両端方向に向け均等長の分岐管を有する円弧状第一分岐路管541と、第一分岐路管の両側出口541bに接続されかつ接続部から両端方向に向け均等長の分岐管を有する一対の円弧状第二分岐路管542と、第二分岐路管の各両側出口542bに接続されかつ接続部から両端方向に向け均等長の分岐管を有する二対の円弧状第三分岐路管543と、以下、同様に構成された円弧状第n分岐路管から成るn段階(nは正の整数)の分岐構造を有し、第n分岐路管の各両側出口がガス放出孔と連通する開口53を構成することを特徴とする。 【選択図】図5

    金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法
    76.
    发明专利
    金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法 有权

    公开(公告)号：JP6648800B1

    公开(公告)日：2020-02-14

    申请号：JP2018199073

    申请日：2018-10-23

    Applicant: 住友金属鉱山株式会社

    Inventor： 大上 秀晴

    IPC: H05K3/26 ,  C23C14/56 ,  C23C14/14 ,  C25D17/00 ,  H05K3/18 ,  C25D5/34

    Abstract: 【課題】湿式メッキ法で金属シード層上に形成される金属膜にピンホールが生じ難い金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法を提供する。 【解決手段】真空成膜法で金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルム601が層間に長尺合紙603を挟み込みながら巻回された長尺樹脂フィルム巻出ロール600と、該巻出ロール600から巻き出される長尺樹脂フィルムから長尺合紙を分離して巻き取る長尺合紙巻取ロール602と、長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムを搬入しその金属シード層上に金属膜を形成する湿式メッキ槽642〜645と、金属膜が形成された長尺樹脂フィルムを巻き取る長尺樹脂フィルム巻取ロール641を備えた金属膜付き樹脂フィルムの製造装置において、長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムの金属シード層表面を洗浄する大気圧プラズマ洗浄装置が上記巻出ロール600と湿式メッキ槽との間に設けられていることを特徴とする。 【選択図】図4

    ガス放出ロール及びその製造方法並びにガス放出ロールを用いた処理装置
    79.
    发明专利
    ガス放出ロール及びその製造方法並びにガス放出ロールを用いた処理装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019203171A

    公开(公告)日：2019-11-28

    申请号：JP2018098645

    申请日：2018-05-23

    Applicant: 住友金属鉱山株式会社

    Inventor： 大上 秀晴

    IPC: F16C13/00 ,  C23C14/56

    Abstract: 【課題】ガンドリル加工を用いることなく、外周面近傍に軸方向に延びる複数のガス導入路を全周に亘って形成でき、しかも、熱負荷に対する冷却性能を良好に保つ。 【解決手段】端部に回転軸を有する金属製のインナロール2と、インナロール2の外周面に嵌着して一体化される円筒状の金属製のアウタロール3と、インナロール2の外周面全周に当該インナロール2の円周方向に沿って略均等な間隔をあけ且つインナロール2の回転軸方向に沿って延びるように形成され、アウタロール3の内周面との間にガス導入路5を区画するガス導入用溝4と、ガス導入路5に貫通するようにアウタロール3に形成されるガス放出孔6群と、を備え、ガス導入路断面の円周遮断率Aが36%以下、あるいは、ガス導入範囲の空隙率Bが20%以下である。 【選択図】図1

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