公开(公告)号：JP6881978B2

公开(公告)日：2021-06-02

申请号：JP2016547237

申请日：2014-10-13

申请人： インテリジェント フルーイド ゲーエムベーハー

发明人： シューマン,ディルク

IPC分类号： C11D3/18 ,  C11D3/20 ,  C11D17/08 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304 ,  G03F7/42

公开(公告)号：JP2021091903A

公开(公告)日：2021-06-17

申请号：JP2021004951

申请日：2021-01-15

申请人： インテリジェント フルーイド ゲーエムベーハー

发明人： シューマン,ディルク

IPC分类号： G03F7/42 ,  C11D3/18 ,  C11D3/20 ,  H01L21/304 ,  C11D17/08

摘要： 【課題】表面からフォトレジスト被膜を除去するための多相系の使用を提供する。 【解決手段】表面からフォトレジスト被膜を除去するための多相系の使用であって、前記多相系は、2種類の非混和性の液体を含み、前記2種類の液体の一方は、水であり、前記2種類の液体の他方は、水中での溶解度が4g/L未満の特定の水不溶性物質であり、前記水不溶性物質は、アルカン、シクロアルカン、芳香族、長鎖アルカン酸エステル、ジカルボン酸エステル等からなる群から選ばれ、前記多相系は、少なくとも1種の界面活性剤、及び、特定のアセト酢酸をさらに含み、前記多相系は、0より大きく200NTU以下の濁度値を有し、前記水不溶性物質は、前記多相系の総重量に対して、1.5〜30重量%以下の範囲の量で存在し、前記少なくとも1種の界面活性剤は、前記多相系の総重量に対して2〜20重量%の範囲で存在している、多相系を使用する。 【選択図】なし