公开(公告)号：JP3211579U

公开(公告)日：2017-07-27

申请号：JP2017600061

申请日：2014-12-08

申请人： スリンフォング スラサック

发明人： スリンフォング スラサック

IPC分类号： C23C14/32 ,  H01J37/34 ,  H01J37/32

CPC分类号： H01J37/34 ,  C23C14/325 ,  C23C14/564 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/32871

摘要： 【課題】互いに平行に配置された複数の管を用いてプラズマビームから大径粒子を除去することで、アークイオン蒸発器又は陰極アーク光源から出力されるプラズマビームの品質を向上するフィルタ装置を提供する。 【解決手段】アークイオン蒸発器の陰極から出力されるプラズマビームに含まれるプラズマと大径粒子を含む中性粒子とのうち、中性粒子を除去するフィルタ装置であり、複数の管を備え、複数の管は、最も内側の管105と、隣接する管106と、次に隣接する管107と、最も外側の管103と、を備え、最も内側の管、隣接する管及び次に隣接する管は、互いに平行に配置され、かつ最も外側の管内に同心円状に収容されている。 【選択図】図10