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公开(公告)号：JP2018188737A
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：JP2018143523
申请日：2018-07-31
发明人： アハロノフ,ロバート・アール
CPC分类号： F02F1/004 , C23C14/025 , C23C14/046 , C23C14/0605 , C23C14/35 , C23C28/322 , C23C28/34 , C23C28/343 , C23C28/347 , C23C28/42 , H01J37/34 , H01J37/3411
摘要： 【課題】コーティングされたシリンダライナの製造方法の提供。 【解決手段】第1の本体端部32から第2の本体端部34に延びる内面26を含む本体30と、ボアと前記第1の本体端部32における第1の開口部36と前記第2の本体端部34における第2の開口部38とを呈するように中心軸Aを囲む内面26とを提供するステップと、本体30のボア内に消耗可能な金属電極28を配置するステップとを備え、消耗可能な金属電極28は金属で形成され、内面26に沿って堆積チャンバ52を形成するために第1の開口部36および第2の開口部38を封止するステップと、消耗可能な金属電極28の金属を本体30の内面26にスパッタリングするステップとを備える、方法。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018533673A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2018521365
申请日：2016-09-27
发明人： ライカー マーティン リー , ジャン フーホン , インファンテ アンソニー , ワン ジェン
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01J37/3447 , C23C14/046 , H01J37/34
摘要： 本明細書に記載のいくつかの実装形態では、バイアス可能なコリメータが提供される。コリメータをバイアスする能力により、スパッタ化学種が通過する電界の制御が可能になる。本開示のいくつかの実装形態では、コリメータの六角形アレイのコリメータの周辺部に沿って低いアスペクト比を維持しながら高い有効アスペクト比を有するコリメータが提供される。いくつかの実装形態では、六角形アレイ内に急勾配の入口エッジを有するコリメータが提供される。コリメータ内で急勾配の入口エッジを使用することで、六角形アレイのセルの堆積物の張り出しおよび閉塞が低減されることがわかった。これらの様々な特徴により、膜の均一性が改善され、コリメータおよびプロセスキットの寿命が延びる。
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公开(公告)号：JP6381944B2
公开(公告)日：2018-08-29
申请号：JP2014075602
申请日：2014-04-01
申请人： 東洋鋼鈑株式会社
CPC分类号： B23K20/2275 , B23K20/02 , B23K20/04 , B23K20/24 , B23K2103/05 , B23K2103/10 , B23K2103/166 , B23K2103/20 , B32B15/01 , B32B15/012 , B32B15/043 , B32B15/18 , B32B15/20 , C22C21/00 , C22C38/02 , C22C38/04 , C22C38/44 , C23F4/00 , H01J37/34
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4.发明专利
公开(公告)号：JP2018519427A
公开(公告)日：2018-07-19
申请号：JP2018500535
申请日：2015-07-06
发明人： ケラー, シュテファン , ブリューニング, アンドレ , シュースラー, ウーヴェ , ジルバウアー, トーマス ウェルナー , バンゲルト, シュテファン
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： C23C14/50 , C23C14/34 , C23C14/562 , C23C14/564 , H01J37/32715 , H01J37/34 , H01M10/052 , H01M10/0562
摘要： スパッタ堆積プロセス中に少なくとも1つの基板を支持するためのキャリア(100)が、提供される。キャリア(100)は、キャリア本体(102)と、キャリア本体(102)に設けられた絶縁部とを含む。絶縁部は、電気絶縁材料の表面(103)を提供し、表面(103)は、スパッタ堆積プロセス中に1つ以上のスパッタ堆積源に面するように構成される。 【選択図】図8
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公开(公告)号：JP6298147B2
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：JP2016503827
申请日：2014-02-19
申请人： 堺ディスプレイプロダクト株式会社
IPC分类号： C23C16/44 , H01L21/285 , C23C14/00
CPC分类号： H01J37/3441 , C23C14/22 , C23C14/564 , C23C16/44 , C23C16/4404 , H01J37/34 , H01J37/3411
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公开(公告)号：JP6275755B2
公开(公告)日：2018-02-07
申请号：JP2016005561
申请日：2016-01-14
发明人： ヒンタ—シュスター, ライナー , リッペルト, ローター
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01L21/67098 , C23C14/3407 , H01J37/34 , H01L21/67103 , H01L21/67109
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公开(公告)号：JP2017537227A
公开(公告)日：2017-12-14
申请号：JP2017527875
申请日：2015-11-20
申请人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated , アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated
发明人： マーティン リー ライカー , マーティン リー ライカー
IPC分类号： C23C14/34 , H01L21/203
CPC分类号： H01J37/34 , C23C14/046 , H01J37/3408 , H01J37/3447
摘要： 基板処理チャンバで使用するためのコリメータの実施形態が本明細書で提供される。一部の実施形態では、コリメータは、中心領域、周辺領域、および中心領域と周辺領域との間に配置された遷移領域を有する本体と、第1のアスペクト比を有する中心領域の第1の複数の開孔と、第1のアスペクト比よりも小さい第2のアスペクト比を有する周辺領域の第2の複数の開孔と、遷移領域の第3の複数の開孔であって、遷移領域が中心領域を取り囲む円錐形を形成するように切削されている、第3の複数の開孔と、を含む。【選択図】図2
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公开(公告)号：JP3211579U
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：JP2017600061
申请日：2014-12-08
申请人： スリンフォング スラサック
发明人： スリンフォング スラサック
CPC分类号： H01J37/34 , C23C14/325 , C23C14/564 , H01J37/32055 , H01J37/32422 , H01J37/32871
摘要： 【課題】互いに平行に配置された複数の管を用いてプラズマビームから大径粒子を除去することで、アークイオン蒸発器又は陰極アーク光源から出力されるプラズマビームの品質を向上するフィルタ装置を提供する。 【解決手段】アークイオン蒸発器の陰極から出力されるプラズマビームに含まれるプラズマと大径粒子を含む中性粒子とのうち、中性粒子を除去するフィルタ装置であり、複数の管を備え、複数の管は、最も内側の管105と、隣接する管106と、次に隣接する管107と、最も外側の管103と、を備え、最も内側の管、隣接する管及び次に隣接する管は、互いに平行に配置され、かつ最も外側の管内に同心円状に収容されている。 【選択図】図10
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公开(公告)号：JP2017519902A
公开(公告)日：2017-07-20
申请号：JP2016569883
申请日：2015-05-13
发明人： ジャスティン ケイ． リード， , ジャスティン ケイ． リード， , エリック シード， , エリック シード， , ケネス フィールダー， , ケネス フィールダー， , ジェラルド スティーブンス， , ジェラルド スティーブンス， , ロナルド アラン ディレイ， , ロナルド アラン ディレイ， , ジョン ハーディー バーレイ， , ジョン ハーディー バーレイ，
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01J37/32935 , C23C14/3407 , G06K19/07749 , H01J37/34 , H01J37/3405 , H01J37/3417
摘要： スパッタ・ターゲット/バッキング・プレート組立体のためのRFIDタグ格納複合体。穴は、ターゲットとバッキング・プレートのいずれかに設けられて、栓の密着収容に適応している。栓は、RFIDタグを中に支承するように構成された凹状部分を含む。【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6141886B2
公开(公告)日：2017-06-07
申请号：JP2014559184
申请日：2013-02-26
发明人： ビョルン エリクソン
CPC分类号： C23C14/325 , C23C14/0641 , C23C14/22 , C23C14/3464 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C28/42 , C23C30/00 , C23C30/005 , H01J37/34 , Y10T428/24967
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