公开(公告)号：JP6810585B2

公开(公告)日：2021-01-06

申请号：JP2016232354

申请日：2016-11-30

申请人： タツモ株式会社

发明人： 田邉 雅明 ,  才野 耕作

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/02 ,  H01L21/68

公开(公告)号：JP6592567B2

公开(公告)日：2019-10-16

申请号：JP2018139040

申请日：2018-07-25

申请人： タツモ株式会社

发明人： 田邉 雅明

IPC分类号： H01L21/301 ,  H01L21/683

公开(公告)号：JP2018063831A

公开(公告)日：2018-04-19

申请号：JP2016201058

申请日：2016-10-12

申请人： タツモ株式会社 ,  株式会社クォークテクノロジー

发明人： 中村 勝

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L33/00 ,  H05B37/02

摘要： 【課題】光量分布におけるバラツキが著しく小さいLED照射装置を提供する。 【解決手段】LED照射装置は、複数のLED群と、制御ドライバ82と、光量検出部2と、算出部83と、制御部85と、を備える。制御ドライバ82は、複数のLED群のそれぞれに対し、個別に制御電流Iaを生成して印加する。光量検出部2は、所定方向における走査が可能であり、走査時において、複数のLED群のそれぞれと順に対向すると共に、対向したLED群が発する光量Qを検出する。算出部83は、複数のLED群がそれぞれ発する光量Qについて、所定光量Qtからのオフセット値ΔQを、光量検出部2の検出結果に基づいて個別に算出する。制御部85は、複数のLED群のそれぞれが発する光量が何れも所定光量Qtとなる様に、制御ドライバ82に、LED群ごとに生成する制御電流Iaを、対応するオフセット値ΔQに基づいて校正させる。 【選択図】図3

公开(公告)号：JP6216199B2

公开(公告)日：2017-10-18

申请号：JP2013202894

申请日：2013-09-30

申请人： タツモ株式会社

发明人： 和迩 浩一 ,  橋本 恵美 ,  神田 達哉

IPC分类号： H05B33/14 ,  H05B33/08

公开(公告)号：JP6187983B2

公开(公告)日：2017-08-30

申请号：JP2014551046

申请日：2013-11-26

申请人： タツモ株式会社 ,  国立研究開発法人産業技術総合研究所

发明人： 廣田 健二 ,  今井 慎一 ,  原 史朗 ,  前川 仁

IPC分类号： H01L21/677 ,  B25J18/04

CPC分类号： B25J9/106 ,  B25J18/02 ,  B25J18/04 ,  B25J9/104 ,  B25J9/1065 ,  H01L21/67706

公开(公告)号：JP2017047375A

公开(公告)日：2017-03-09

申请号：JP2015172907

申请日：2015-09-02

申请人： タツモ株式会社

发明人： 五十川 良則

IPC分类号： B05C5/02 ,  F04B9/08 ,  B05C11/10

摘要： 【課題】吐出される流体を効率的に使用することができる吐出装置を提供する。 【解決手段】吐出装置は、駆動側ポンプと、吐出側ポンプと、を備える。吐出側ポンプは、吐出室と駆動室と圧力伝達部材とを備える。駆動側ポンプの吐出室から吐出側ポンプの駆動室までの流路は駆動用流体で満たされる。駆動側ポンプが動作すると、吐出側ポンプの駆動室の圧力が高くなる。圧力伝達部材は、その圧力を吐出室に伝達する。すると、吐出側流路に充填された吐出用流体は、ノズルから吐出される。吐出側ポンプの吐出室の容積は、駆動側ポンプの吐出室の容積より小さい。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2016179460A

公开(公告)日：2016-10-13

申请号：JP2015062410

申请日：2015-03-25

申请人： タツモ株式会社

发明人： 五十川 良則

IPC分类号： B05C11/00 ,  B05D1/26 ,  B05D3/00 ,  B05C5/02

摘要： 【課題】スリットノズルのスリットから塗布液を実際に吐出することなしに、ワーク上に形成される塗膜に対し、スリットの長手方向における厚みのばらつきを推定することができる膜厚推定装置、及び膜厚推定方法を提供する。 【解決手段】膜厚推定装置400Aは、塗布液に代えて、所定の定圧の気体をスリットノズル5に供給し、スリット5Sから吐出方向に所定距離離れた複数の検出位置であって、スリット5Sの長手方向に沿って並ぶ複数の検出位置において、スリット5Sから吐出された気体の特徴量(例えば風速及び風量)を検出する。本発明の膜厚推定装置400Aは、複数の検出位置において検出した気体の特徴量に基づいて、スリット5Sの長手方向に並ぶ複数の位置における塗膜の厚みのばらつきを推定する。 【選択図】図9

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种膜厚估计装置和膜厚估计方法，其能够估计狭缝相对于在工件上形成的涂膜的厚度的变化，而实际上不从 狭缝喷嘴的狭缝。解决方案：膜厚估计装置400A将规定的恒定压力的气体供给到狭缝喷嘴5代替涂布液，并且检测从...排出的气体的特征量（例如，气体速度和气体量） 在从狭缝5S沿排出方向分开规定距离的多个检测位置上的狭缝5S，即沿着狭缝5S的长度方向布置的多个检测位置。 膜厚估计装置400A基于在多个检测位置检测到的气体的特征量，估计在狭缝5S的长度方向排列的多个位置上的涂膜的厚度的变化。图示：图 9

公开(公告)号：JP5986225B2

公开(公告)日：2016-09-06

申请号：JP2014554368

申请日：2013-12-19

申请人： タツモ株式会社 ,  第一稀元素化学工業株式会社

发明人： 和迩 浩一 ,  西川 拓 ,  岩倉 章貴 ,  柳下 定寛

IPC分类号： C09K11/00 ,  C09K11/56 ,  H05B33/14 ,  C09K11/08

CPC分类号： C09K11/642 ,  H05B33/14

公开(公告)号：JP5925217B2

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：JP2013549019

申请日：2011-12-15

申请人： タツモ株式会社

发明人： 山添 勝広 ,  今井 慎一 ,  坂田 功介 ,  西嶋 芳樹 ,  月本 浩明

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67265 ,  B25J11/0095 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/68

公开(公告)号：JP5758993B2

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：JP2013517951

申请日：2012-05-16

申请人： タツモ株式会社

发明人： 瀧本 泰弘 ,  月本 浩明 ,  藤田 大輔

IPC分类号： H01L21/68

CPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/6838