水晶素子および水晶デバイス
    1.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018164194A

    公开(公告)日:2018-10-18

    申请号:JP2017060301

    申请日:2017-03-27

    Abstract: 【課題】副次的な振動が主振動である厚みすべり振動へ与える影響を低減させ、電気的特性を向上させることができる水晶素子および水晶デバイスを提供する。 【解決手段】水晶素子120は、略直方体形状の振動部121a、および、振動部121aの外縁に沿って設けられ上下方向の厚みが振動部121aの上下方向の厚みより薄い周辺部121aからなる水晶片121と、振動部121aに設けられている励振電極部123、および、励振電極部123から水晶片121の一方の短辺の縁部まで延設されている接続配線部124からなる金属パターン122と、を備えている水晶素子120であって、 平面視して、水晶片121の短辺の長さと水晶片121の短辺に平行な振動部121aの辺の長さとが同じとなっており、水晶片121の短辺に平行な励振電極部123の辺の長さが、水晶片121の長辺に平行な励振電極部123の辺の長さよりも長くなっている。 【選択図】図4

    圧電振動素子、圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法

    公开(公告)号:JP2018142847A

    公开(公告)日:2018-09-13

    申请号:JP2017035800

    申请日:2017-02-28

    Inventor: 齋藤 俊博

    Abstract: 【課題】圧電振動素子を素子搭載部材に搭載する際に所望する搭載位置を確認することができ、圧電振動素子の搭載位置が正常な製品を製造可能な圧電振動素子、圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法を提供する。 【解決手段】本発明は、圧電素子110と、この圧電素子110に設けられる励振電極120と、圧電素子110の一方の短辺の両角部の上面から側面を介して下面にかけて形成されている接続電極140と、を備えた圧電振動素子であって、接続電極140には、圧電素子110の上面及び下面において平面視で重なった位置にスリット150が設けられており、このスリット150は、圧電振動素子100が素子搭載部材410の所望する位置に搭載されたときに、素子搭載部材410に設けられた電極パッド413の外周縁部と平面視重なる位置に設けられている圧電振動素子と、その圧電振動素子を搭載した圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法。 【選択図】図1

    圧電振動素子、圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法

    公开(公告)号:JP2018142844A

    公开(公告)日:2018-09-13

    申请号:JP2017035775

    申请日:2017-02-28

    Inventor: 齋藤 俊博

    Abstract: 【課題】接続電極と導電性接着剤との接合状態等を確認することができ、接続電極と導電性接着剤との接合状態が良好な製品のみを製造可能な圧電振動素子、圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法を提供する。 【解決手段】本発明は、透明の圧電素子110と、この圧電素子110に設けられる励振電極120と、圧電素子110の一方の短辺の両角部の上面から側面を介して下面にかけて、それぞれ一個計二個形成されている平面視矩形の接続電極140と、を備えており、この接続電極140には、圧電素子110の上面及び下面において平面視で重なった位置にスリット150が設けられている圧電振動素子100と、この圧電振動素子100を搭載した圧電デバイスである圧電振動子400、及び圧電デバイスである圧電振動子400の製造方法である。 【選択図】図1

    水晶素子及び水晶デバイス
    4.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018137704A

    公开(公告)日:2018-08-30

    申请号:JP2017032889

    申请日:2017-02-24

    Inventor: 村岡 渉

    Abstract: 【課題】水晶素子が小型化された場合にも水晶素子の等価直列抵抗値の悪化を抑制することが可能な水晶素子を提供することを課題とする。 【解決手段】水晶素子は、矩形状の水晶素板121と、矩形状の励振用電極122と、水晶素板121の一辺に向かって設けられた第一引き出し電極123aと、水晶素板121の一辺と向かい合う一辺に向かって設けられた第二引き出し電極123bと、第一引き出し電極123aと電気的に接続され、水晶素板121の一辺に沿って設けられた第一接続電極124aと、第二引き出し電極123bと電気的に接続され、水晶素板121の一辺と向かい合う一辺に沿って設けられた第二接続電極124bと、を備え、第一引き出し電極123a及び第二引き出し電極123bは、励振用電極122の角部から引き出されている。 【選択図】図1

    水晶デバイスの製造方法
    5.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018137703A

    公开(公告)日:2018-08-30

    申请号:JP2017032876

    申请日:2017-02-24

    Inventor: 乾條 晴史

    Abstract: 【課題】基板の下面から実装枠体が剥がれてしまうことを低減することが可能な水晶デバイスを提供する。 【解決手段】水晶デバイスの製造方法は、基板110aの上面に設けられた電極パッド111に水晶素子120を実装し、蓋体130を接合して水晶素子120を気密封止した振動子部150を形成する振動子部形成工程と、開口部161を有する実装枠体160を準備する実装枠体準備工程と、実装枠体160に設けられた開口部161内に電子部品170を挿入するようにして、基板110aの下面に電子部品170を実装する共に、実装枠体160と振動子部150とを接合する実装接合工程と、を含んでいる。 【選択図】図1

    水晶デバイス。
    6.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018125635A

    公开(公告)日:2018-08-09

    申请号:JP2017015095

    申请日:2017-01-31

    Inventor: 寺村 剛

    Abstract: 【課題】水晶振動部が基板に接触することを抑え、安定して発振周波数を出力することが可能な水晶デバイスを提供する。 【解決手段】水晶デバイスは、基板110aと、基板110aに設けられた枠体110bと、基板110a上に設けられた一対の電極パッド111と、基板110a上に設けられた支持パッド115と、水晶基部と、水晶振動部123と、水晶支持部124と、水晶振動部123の上面及び下面に設けられた励振電極と、励振電極と電気的に接続された引き出し電極と、を有し、電極パッド111に実装された音叉型水晶素子と、枠体に接合部材を介して接合された蓋体と、を備える。音叉型水晶素子の水晶基部側に位置する枠体110bの上面に設けられた接合部材131には、第一接合領域R1及び第二接合領域R2が設けられている。 【選択図】図2

    弾性表面波装置
    7.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2017103502A

    公开(公告)日:2017-06-08

    申请号:JP2015232569

    申请日:2015-11-30

    Inventor: 石川 広幸

    Abstract: 【課題】本発明は、外部応力によって搭載された弾性表面波素子の姿勢変化や脱落が生じない、耐衝撃性の高い弾性表面波装置を提供することを目的とする。 【解決手段】弾性表面波装置の一つである弾性表面波共振子100は、基板111を有する素子搭載部材110と、この基板111の上面に実装され、平面視矩形の水晶板121とこの水晶板121の上面の短辺に沿って設けられた第一電極パッド124とを有する弾性表面波素子120と、基板111の上面の弾性表面波素子120の短辺に沿って平面透視で重なる位置に設けられた接合パッド114と、を備え、接合パッド114に設けられた溝部117と、この溝部117と接触させるようにして基板111の上面に塗布され、素子搭載部材110と弾性表面波素子120とを接合する接合材140とを備えている。 【選択図】図1

    音叉型水晶素子及びその音叉型水晶素子が実装された水晶デバイス。

    公开(公告)号:JP2017098913A

    公开(公告)日:2017-06-01

    申请号:JP2015232489

    申请日:2015-11-28

    Inventor: 尾賀 孝宏

    Abstract: 【課題】 電気的特性を改善することができる音叉型水晶素子を提供する。 【解決手段】 音叉型水晶素子120は、略矩形状の水晶基部121と、水晶基部121の側面より延出するように設けられた水晶振動部123と、水晶基部121の側面と対向する位置にある側面より延出するようにして設けられた略矩形形状の水晶保持部122と、水晶保持部122の側面より水晶振動部123と同一方向に延出するように設けられた一つの水晶支持部124と、水晶振動部123が形成された側面と対向する位置にある側面を構成する一辺から水晶基部121に向かって水晶保持部122の上面及び下面に設けられた一対の第一溝部D1と、水晶振動部123の上面及び下面に設けられた励振電極125、126と、水晶振動部123から水晶基部121及び水晶支持部232にかけて設けられ、励振電極125、126と電気的に接続された引き出し電極127と、を備えている。 【選択図】図2

    音叉型水晶素子
    9.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2017098911A

    公开(公告)日:2017-06-01

    申请号:JP2015232487

    申请日:2015-11-28

    Inventor: 尾賀 孝宏

    Abstract: 【課題】本発明は、エッチング残渣の影響を抑え、所望するQ値での振動が容易で電気的特性が良好な音叉型水晶素子を提供する。 【解決手段】基部110と、基部110の一側面より同一の方向に延びる第一振動腕部120と第二振動腕部130と、第一振動腕部120の先端に設けられた第一錘部121と、第二振動腕部130の先端に設けられた第二錘部131と、が備わっており、第一錘部121及び第二錘部131の幅方向を二分しY′軸方向に平行な中心線から+X軸方向にある第一錘部121及び第二錘部131の側面から内方に切れ込んで設けられた第一溝部122a及び122bと、第一錘部121及び第二錘部131の幅方向を二分しY′軸方向に平行な中心線から−X軸方向にある第一錘部121及び第二錘部131の側面から内方に切れ込んで設けられた第二溝部123a及び123bと、が設けられている。 【選択図】図1

    圧電片の製造方法、振動素子用圧電片、圧電振動素子及び圧電振動デバイス

    公开(公告)号:JP2017079438A

    公开(公告)日:2017-04-27

    申请号:JP2015207652

    申请日:2015-10-22

    Inventor: TAKAHASHI ATSUYA

    Abstract: 【課題】ウェットエッチングによってウェハを圧電片に個片化でき、かつ圧電片の形状の精度を向上できる圧電片の製造方法を提供する。【解決手段】水晶片15の製造方法は、第1マスク33が設けられたウェハ31を薬液51に浸してウェットエッチングを行う。第1マスク33は、ウェハ31の主面を露出させる複数の開口37によって区切られることにより、ウェハ31のうち複数の水晶片15となる部分に重なる複数の個片領域39と、複数の個片領域39から延び出て複数の個片領域39同士を連結する複数の連結領域41とを有している。エッチングは、ウェハ31のうちの複数の開口37下の部分がエッチングされて貫通孔が形成された後も、サイドエッチングによってウェハ31のうちの複数の連結領域41下の部分がエッチングされて、複数の水晶片15が個片化されるまで継続される。【選択図】図7

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