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公开(公告)号:JP4768905B2
公开(公告)日:2011-09-07
申请号:JP2000250481
申请日:2000-08-22
Inventor: カレン・エル・シーワード , ジョン・エス・ハーグリーブス , ダニエル・ビー・ロイトマン , ホーマー・アントニアディス
CPC classification number: H01J37/32082 , H01L27/322 , H01L27/3244 , H01L51/5253 , H01L51/529 , H01L2251/5315