Patent search ap:("アプライドマテリアルズインコーポレイテッド" OR "APPLIED MATERIALS Page INCORPORATED") AND inv:"チュー

1.

发明专利
プラズマ処理設備における内表面調整評価のためのシステム及び方法有权

公开(公告)号：JP6615195B2

公开(公告)日：2019-12-04

申请号：JP2017519831

申请日：2015-09-23

Applicant: アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED

Inventor： パク, スナム , チュー, ユイフェイ , スアレス, エドウィンシー. , イングル, ニティンケー. , ルボミルスキー, ドミトリー , ホアン, チアイン

IPC: H05H1/00 , H01L21/3065 , H05H1/46

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