Patent search ap:("アプライドマテリアルズインコーポレイテッド" OR "APPLIED MATERIALS Page INCORPORATED") AND inv:"ファン

1.

发明专利
DRAM STIアクティブカットパターニングへのマルチカラーアプローチ审中-公开

公开(公告)号：JP2021532596A

公开(公告)日：2021-11-25

申请号：JP2021504502

申请日：2019-08-01

Applicant: アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED

Inventor： シン, テジンダー , 越澤武仁 , マリック, アブヒジットバス , マンナ, プラミット , ファン, ナンシー , ベンカタサブラマニアン, エスワラナンド , ウォン, ホー−ヤンデーヴィッド , ゴットハイム, サミュエルイー.

IPC: H01L21/8242 , H01L27/108 , H01L21/76

Abstract: パターニングされた基板を提供するための装置及び方法が記載されている。第1の方向に延在する膜と、第1の方向と交差する第2の方向に延在する膜とを選択的に堆積及びエッチングして、下にある構造をパターニングすることによって、複数のパターニングされ離間した第1のライン及び炭素材料のラインが基板表面上に形成される。【選択図】図22A

Patent Agency Ranking