公开(公告)号：JP2013545102A

公开(公告)日：2013-12-19

申请号：JP2013538874

申请日：2011-11-10

申请人： アメリカ合衆国

发明人： イー ペールソン、ペール ,  フィールド、クリストファー ,  イン、ヒュンジン

IPC分类号： G01N27/30 ,  G01N27/12

CPC分类号： B82Y10/00 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N27/127 ,  G01N27/4146 ,  G01R1/06744 ,  H01L29/0665 ,  H01L29/0676 ,  H01L29/456 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： ここには、支持体と、支持体と垂直な複数のナノワイヤと、各ナノワイヤの第一の端部と接触する電極と、を備える構造が開示されている。 各ナノワイヤは、支持体と接触する第二の端部を有する。 電極は複数の穿孔を含む。 また、ここには、支持体およびナノワイヤを準備することと、各ナノワイヤの一部を覆うとともに、各ナノワイヤの第一の端部を露出させておく充填材料の層を堆積させることと、充填材料の上に複数のナノ粒子（nanoparticles）を堆積させることと、ナノ粒子、ナノワイヤの端部および任意の露出した充填材料の上に電極材料を堆積させることと、ナノ粒子および充填材料を除去して各ナノワイヤの第一の端部と接触する電極を形成することと、を含む方法であって、電極が複数の穿孔を有する、方法が開示されている。
【選択図】図１Ｄ