-
公开(公告)号:JP5388862B2
公开(公告)日:2014-01-15
申请号:JP2009542686
申请日:2007-12-19
Applicant: アールイーシー・ウェーハ・ピーティーイー・リミテッド
Inventor: ペル・アルネ・ワン , アルネ・ラムスランド , オレ・クリスチャン・トロンルッド , エーリク・イェルタース , ベント・ハメル , アンドレ・スカイエ , オラ・トロンルッド
IPC: H01L21/677 , H01L21/304
CPC classification number: B28D5/0082 , B65G49/061 , B65G49/068 , B65G2249/04 , Y10T156/19