高圧放電ランプ
    1.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2020047373A

    公开(公告)日:2020-03-26

    申请号:JP2018172321

    申请日:2018-09-14

    Inventor: 森 和之

    Abstract: 【課題】封止部形状を大型化することなく、多数枚の金属箔を封止できて、ランプの大出力化に対応できるようにするとともに、封止部の封止作業も一度の溶融封止作業で済むようにした高圧放電ランプの構造を提供する。 【解決手段】封止部マウント10は、電極芯線12に電気的に接続された第1の導電部材16と、外部リード13に電気的に接続された第2の導電部材17が対向配置され、当該導電部材の対向する端面には、複数段の平坦階段形状の箔接続部が形成されており、金属箔32、33、34は、前記導電部材の箔接続部で溶接接続されるとともに、前記金属箔の間には矩形状のスペーサガラス42、43、44が介在するものであり、前記封止部マウントが封止部内において封止されていることを特徴とする。 【選択図】図1

    レーザ駆動ランプ
    2.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019029272A

    公开(公告)日:2019-02-21

    申请号:JP2017149617

    申请日:2017-08-02

    Abstract: 【課題】発光ガスが封入され、レーザ光を集光入射してプラズマを生成させるレーザ駆動ランプにおいて、プラズマからの高出力のUV光及びVUV光の照射を受けても、プラズマ容器に紫外線ひずみが生じることがなく、プラズマ容器への入力エネルギーの更なる増加を可能とし、大出力のUV光及びVUV光を得ることができる構造を提供することである。 【解決手段】柱状の金属製の胴体部を備えるとともに、該胴体部の内側に、前記レーザ光が集光される第1焦点を有する楕円反射面が形成され、該楕円反射面の前面には紫外光透過性の光出射窓が設けられるとともに、前記胴体部の中心には光軸方向に貫通するレーザ光通過孔が設けられていて、該レーザ光通過孔の後方側には前記レーザ光が入射する光入射窓が設けられており、前記胴体部、前記光出射窓および前記光入射窓により密閉空間を形成し、該密閉空間内に前記発光ガスが封入されていることを特徴とする。 【選択図】 図1

    光照射装置
    3.
    发明专利
    光照射装置 有权
    光辐射装置

    公开(公告)号:JP2015084337A

    公开(公告)日:2015-04-30

    申请号:JP2014260636

    申请日:2014-12-24

    Abstract: 【課題】 メタルハライドが封止部に滲入することを防止して長寿命のメタルハライドランプとし、長時間波長300〜400nmの光を放射することができる光照射装置を提供すること。 【解決手段】 ロングアーク型のメタルハライドランプと、前記メタルハライドランプの背面に配置された反射ミラーとを備え、波長300〜400nm域の紫外線を放射する光照射装置であり、 前記メタルハライドランプは、石英ガラス製の発光管の内部に発光物質として鉄を含み、前記発光管の 端部 に電極の軸部を支持する保持用筒体が具備されると共に、封止部にモリブデン箔が埋設され、前記保持用筒体の長さをL(mm)、ランプの電流をI(A)とすると、L/I(mm/A)が0.17以上であって、前記発光管の内部に、錫、ビスマス、ガリウム、鉛及び亜鉛のうち少なくとも1種からなる特定の金属が封入されてなることを特徴とするとする。 【選択図】 図1

    Abstract translation: 要解决的问题:为了提供能够长时间辐射300-400nm波长的光的光辐射装置,通过防止金属卤化物进入密封部分,从而提供具有长寿命的金属卤化物灯 解决方案:一种光辐射装置,包括长弧形金属卤化物灯和布置在金属卤化物灯背面​​的反射镜,并且辐射出300-400nm波长的紫外线。 在金属卤化物灯中,由石英玻璃制成的电弧管含有铁作为发光材料。 电弧管的端部具有支撑电极的轴部的保持筒。 钼箔被埋在密封部分中。 如果保持筒的长度为L(mm),灯的电流为I(A),则L / I(mm / A)等于或大于0.17。 由锡,铋,镓,铅和锌中的至少一种形成的特定金属被密封在电弧管中。

    光照射装置およびフラッシュランプ

    公开(公告)号:JP2020155346A

    公开(公告)日:2020-09-24

    申请号:JP2019053952

    申请日:2019-03-21

    Abstract: 【課題】多数のフラッシュランプを用いた光照射装置において、個々のランプへの入力電流を大きくすることなく、全体として高強度な光を出射でき、フラッシュランプを実用的な寿命時間で使用可能とした構造を提供することである。 【解決手段】第一電極導入部と第二電極導入部を有するフラッシュランプの発光管の前記第二電極導入部側の先端部に光出射面が設けられていて、前記フラッシュランプは、当該光出射面が処理チャンバ内に臨むように、当該処理チャンバの天板に多数隣接して立設されていることを特徴とする。 【選択図】 図1

    放電ランプ用電極およびその製造方法

    公开(公告)号:JP2018077945A

    公开(公告)日:2018-05-17

    申请号:JP2016217085

    申请日:2016-11-07

    Abstract: 【課題】タングステン材料からなる放電ランプ用電極において、電極の軽量化を図り、併せて電極材料の省資源化をもたらし、かつ、放熱機能に優れた電極構造およびその製造方法を提供するものである。 【解決手段】放電ランプ用電極が、タングステンの焼結体からなる先端部と、該先端部に積層されたタングステンの粉末溶融積層体からなる本体部とからなり、前記本体部のタングステンの相対密度を、前記先端部のタングステンの相対密度より小さくしたことを特徴とし、また、前記放電ランプ用電極の製造法であって、タングステンの焼結体の後端部に、タングステンの粉末溶融積層体を積層造形したことを特徴とする。 【選択図】 図1

    メタルハライドランプ
    7.
    发明专利
    メタルハライドランプ 有权
    金属卤化物灯

    公开(公告)号:JP2015065182A

    公开(公告)日:2015-04-09

    申请号:JP2014260637

    申请日:2014-12-24

    Abstract: 【課題】 メタルハライドが封止部に滲入することを防止して長寿命のメタルハライドランプを提供すること、更にはランプを点灯する給電装置が電流を切り替えて点灯する場合でも、メタルハライドランプの封止部の不具合を回避できるメタルハライドランプ点灯装置を提供すること。 【解決手段】 石英ガラス製の発光管の内部に発光物質として鉄を含み、前記発光管の端部に電極の軸部を支持する保持用筒体が具備されると共に、封止部にモリブデン箔が埋設されてなるロングアーク型のメタルハライドランプであって、前記保持用筒体は石英ガラスからなり、前記保持用筒体の長さをL(mm)、ランプの電流をI(A)とすると、L/I(mm/A)が0.17〜1.89の範囲であるであると共に、前記発光管の内部に、鉄よりも蒸気圧の高い金属が封入されていることを特徴とする。また、発光管の内部に水銀が封入されていることを特徴とする。 【選択図】 図1

    Abstract translation: 要解决的问题:为了提供一种通过防止金属卤化物渗透密封部分而具有长寿命的金属卤化物灯,并且还提供一种能够避免金属卤化物的密封部分的麻烦的金属卤化物灯开启装置 即使打开灯的电源装置通过切换电流来接通灯泡。解决方案:提供一种长弧型金属卤化物灯,其包括:作为发光材料的铁,由石英玻璃制成的发光管; 保持筒体,其支撑在所述发光管的端部的电极的轴部; 以及嵌入密封部中的钼箔。 保持筒体由L / I(mm / A)为0.17〜1.89的石英玻璃制成,其中L(mm)为保持筒体的长度,I(mm)为灯中的电流。 此外,具有比铁更高的蒸汽压力的金属被装入发光管中。 此外,汞在发光管中充电。

    エキシマランプ
    8.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019216015A

    公开(公告)日:2019-12-19

    申请号:JP2018112464

    申请日:2018-06-13

    Abstract: 【課題】一対の平面部と一対の側面部とからなる、偏平な矩形断面形状の放電容器の前記平面部のそれぞれの外表面に一対の外部電極が配置されてなるエキシマランプにおいて、放電容器の内部に始動補助電極を設けることなく、ハロゲンガス入りの放電ガスを封入した場合でも、ハロゲンガスの吸収による消失を起こすことなく、良好な始動性を確保することができるエキシマランプの構造を提供することである。 【解決手段】前記平面部の少なくとも一端部が圧潰されて前記ピンチシール部が形成されていて、前記外部電極から前記ピンチシール部まで延びる始動補助電極が設けられていることを特徴とする。 【選択図】 図1

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