公开(公告)号：JP5226575B2

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：JP2009075314

申请日：2009-03-26

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 忠士 宇川

IPC: B08B7/00 ,  B05B7/04 ,  H01L21/304

公开(公告)号：JPWO2012121400A1

公开(公告)日：2014-07-17

申请号：JP2013503641

申请日：2012-03-05

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 忠士 宇川 ,  忠士 宇川 ,  峻一 馬込 ,  峻一 馬込 ,  慎平 岩本 ,  慎平 岩本

IPC: B08B7/04 ,  B05B7/04 ,  B05B7/08 ,  B05B7/14 ,  B08B5/02

CPC classification number: B05B7/1486 ,  B05B7/08 ,  B05B7/0815 ,  B08B7/0092 ,  B24C1/003 ,  B24C7/0046

Abstract: 炭酸ガスの消費ロスを抑えながらドライアイススノーを幅広に噴射して効率的な洗浄を実現するドライアイススノー噴射装置を提供する。ドライアイススノーを生成するための炭酸ガス供給源と、ドライアイススノーを推進させるための整流ガスを供給するための整流ガス供給源と、ドライアイススノー噴射口(1)と、上記ドライアイススノー噴射口(1)を挟んで傾斜して対峙する第1の整流ガス噴出口(3)とを備えたことにより、噴射されたドライアイススノーを整流ガスの作用で扁平にするため、従来のようなドライアイススノーがノズル内面にあたることによるロスやパーティクルの発生がなく、炭酸ガスのロスや洗浄不良といった事態の発生を防止できる。このように、炭酸ガスの消費ロスを抑えながら効率的で品質のよい洗浄を実現することができる。

公开(公告)号：JP5065078B2

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：JP2008036751

申请日：2008-02-19

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 忠士 宇川 ,  徹 稲垣

IPC: B08B7/00 ,  H01L21/304