公开(公告)号：JP5972263B2

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：JP2013517162

申请日：2011-06-20

Applicant: エボニック デグサ ゲーエムベーハー ,  Evonik Degussa GmbH

Inventor： ベルンハルト シュテュッツェル ,  ヴォルフガング ファールナー

IPC: H01L31/04 ,  C01B33/113 ,  C01B33/02

CPC classification number: H01L21/02532 ,  C23C18/1204 ,  C23C18/1212 ,  C23C18/1225 ,  C23C18/1295 ,  C23C18/14 ,  H01L21/02123 ,  H01L21/02318 ,  H01L21/02587 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02628 ,  H01L21/02664 ,  H01L29/1604 ,  H01L31/0376 ,  H01L31/075 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521