公开(公告)号：JP5731519B2

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：JP2012535446

申请日：2010-10-25

Applicant: エーエスエム インターナショナル エヌ.ヴェー. ,  ASM INTERNATIONAL N.V.

Inventor： ポレ ヴィリヤミ ,  ハタンパー ティモ ,  リタラ ミッコ ,  リスケラ マルック

IPC: C23C16/34 ,  C23C16/455 ,  H01L21/365 ,  C23C16/30

CPC classification number: C23C16/45553 ,  C23C16/18 ,  C23C16/305 ,  C23C16/4408 ,  C23C16/45555 ,  H01L21/02538 ,  H01L21/02543 ,  H01L21/02546 ,  H01L21/02549 ,  H01L21/0262 ,  H01L45/06 ,  H01L45/144 ,  H01L45/148 ,  H01L45/1616 ,  H01L21/02521 ,  H01L21/02551