公开(公告)号：JP5650328B2

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：JP2013526318

申请日：2010-09-03

Applicant: エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー

Inventor： ミヒャエル・カスト ,  クリスティアン・グリューンザイス ,  アロイス・マルツァー

IPC: G05D3/00 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01B21/24 ,  G01B11/14 ,  G01B11/272 ,  G03F7/0002

公开(公告)号：JP2013542481A

公开(公告)日：2013-11-21

申请号：JP2013526318

申请日：2010-09-03

Applicant: エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー

Inventor： ミヒャエル・カスト ,  クリスティアン・グリューンザイス ,  アロイス・マルツァー

IPC: G05D3/00 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01B21/24 ,  G01B11/14 ,  G01B11/272 ,  G03F7/0002

Abstract: 本発明は、第1の基板(2)の第1の表面(2o)と第2の基板(5)の第2の表面(5o)との間に距離を伴う第1の表面(2o)と第2の表面(5o)とを対向して位置合わせするための装置に関し、前記装置は、以下の特徴、すなわち、第1の基板(2)を第1の受け面(1a)で受けるための第1の受け要素(1)と、第2の基板(5)を第2の受け面(6a)で受けるための第2の受け要素(6)と、第1の表面(2o)を最終位置へ向けて並進方向(T)で第2の表面(5o)へと移動させるための接近手段とを有する。 本発明は、第2の表面(5o)への第1の表面(2o)の移動中に第1の表面(2o)と第2の表面(5o)との間のウェッジエラーを減少させるための手段が設けられることを特徴とする。 また、本発明は、第1の表面及び第2の表面間に距離を伴う第1の基板の第1の表面と第2の基板の第2の表面とを対向して位置合わせするための方法であって、第2の表面への第1の表面の移動中に第1の表面及び第2の表面間のウェッジエラーが減少されることを特徴とする方法に関する。