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    スタンパ構造を備えたスタンパ並びにその製造方法
    1.
    发明专利
    スタンパ構造を備えたスタンパ並びにその製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020115579A

    公开(公告)日：2020-07-30

    申请号：JP2020069743

    申请日：2020-04-08

    Applicant: エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー

    Inventor： ムスタファ チョウイキ

    IPC: B29C33/40 ,  B29C59/02 ,  H01L21/027

    Abstract: 【課題】基板上にマイクロ構造及び/又はナノ構造を適用するための、スタンパ構造を備えた構造スタンパの製造方法、又はスタンパ構造を備えた構造スタンパ。 【解決手段】スタンパ構造は、スタンパ材料として少なくとも部分的にシリコーンから形成されていて、前記インプリントスタンパは変形可能に構成されていて、前記インプリントスタンパは、10000MPa未満の弾性率を有し、前記インプリントスタンパの表面の粗さが1μm未満であり、かつ前記スタンパ材料は、型押し材料に対して不透過性である。 【選択図】図1a

    光学ガラス素子を製造するための方法
    4.
    发明专利
    光学ガラス素子を製造するための方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020097521A

    公开(公告)日：2020-06-25

    申请号：JP2020016041

    申请日：2020-02-03

    Applicant: エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー

    Inventor： ゲラルト クラインドル ,  ムスタファ チョウイキ

    IPC: C03B8/02 ,  G02B3/00 ,  C03B8/00

    Abstract: 【課題】光学素子を製造するための改善された方法を提供する。 【解決手段】光学ガラス素子を製造するための方法であって、a)液体の型押し成形材料4を押型1に供給するステップ、b)500℃よりも低い温度で型押し成形材料4を型押し成形するステップ、c)型押し成形材料4を硬化させるステップ、d)型押し成形材料4を焼結させ、それによって、光学ガラス素子を基礎成形するステップ、を備える。型押し成形材料は、多面体のオリゴマーのシルセスキオキサン(POSS)、ポリジメチルシロキサン(PDMS)、オルトケイ酸テトラエチル(TEOS)、ポリ(オルガノ)シロキサン(シリコーン)のうちの少なくとも1つを有する。更に、本方法によって製造される光学ガラス素子、本方法を実施するための装置、この装置の使用が提供される。 【選択図】図1a

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