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发明专利
EUV投影リソグラフィのための照明光学ユニット有权

公开(公告)号：JP6691105B2

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：JP2017511203

申请日：2015-08-19

申请人： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

发明人： ビーリングスティーグ , エンドレスマルティン , デギュンターマルクス , パトラミヒャエル , ヴェングラーヨハンネス

IPC分类号： G02B17/06 , G03F7/20