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发明专利
標的設計及び製造における誘導自己組織化有权

公开(公告)号：JP6478974B2

公开(公告)日：2019-03-06

申请号：JP2016507655

申请日：2014-04-10

申请人： ケーエルエー−テンカーコーポレイション

发明人： アミットエラン , ヨハナンラビブ , イツコヴィチタル , アミルヌリエル , ヴォルコヴィチロイエ , ドンサブチョイ

IPC分类号： C08G81/00 , G03F7/20 , H01L21/027