改善された複合ゲッター
    10.
    发明专利
    改善された複合ゲッター 有权
    改进的复合吸气剂

    公开(公告)号:JP2015502839A

    公开(公告)日:2015-01-29

    申请号:JP2014539436

    申请日:2012-10-25

    CPC classification number: B01D53/04 H01J7/183

    Abstract: 本発明は、ポリイミドまたはポリアミドに基づく化合物(23)で被覆されたNEG材料(22)を含む複合ゲッターシステム(20)に言及する。本発明は、少なくとも1つのNEG材料ならびに少なくとも1つのポリイミドおよび/またはポリアミドに基づく化合物を含む複合ゲッターシステムであって、周囲環境に面する前記NEG材料表面の少なくとも80%が、前記ポリイミドおよび/またはポリアミドに基づく化合物で被覆され、前記被覆物が、0.1から1mmの間の厚さを有することを特徴とする、複合ゲッターシステムである。

    Abstract translation: 本发明是指包含经涂覆的NEG材料(22)与基于聚酰亚胺或聚酰胺(23)(20)的化合物的复合吸气剂体系。 本发明提供了一种复合吸气剂系统,其包含化合物基于和NEG材料的至少一个的至少一个聚酰亚胺和/或聚酰胺,面向周围环境中,聚酰亚胺的NEG材料表面的至少80%和/或 涂覆有基于聚酰胺的化合物,该涂层的特征在于具有的厚度为0.1至1mm时,复合吸气系统。

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