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公开(公告)号：JP2021077587A
公开(公告)日：2021-05-20
申请号：JP2019205327
申请日：2019-11-13
Applicant: トヨタ自動車株式会社
IPC: H01M8/02 , H01M8/1004
Abstract: 【課題】入子の温度を維持できる技術を提供する。 【解決手段】燃料電池の加熱プレス用金型は、燃料電池を挟持し、第1ヒータを有する第1型と第2ヒータを有する第2型と、側面に凸部を有する入子と、を備える。第1型は、第2型に対向する面に開口し、入子を収容する収容部と、収容部の内側面に設けられ、第2型側から凸部側を向く第1面と、を備え、凸部は、加熱プレス用金型が燃料電池を押圧していない場合と、加熱プレス用金型が燃料電池を押圧している場合との双方において、第1面に接する第2面を有する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2019031723A
公开(公告)日：2019-02-28
申请号：JP2017154012
申请日：2017-08-09
Applicant: トヨタ自動車株式会社
Abstract: 【課題】ワークの中央部と外周部とに温度差が生じてワークが変形するおそれがある。 【解決手段】ワークの少なくとも処理対象部分が配置される第1窪み部を備える第1の型と、第1の型に対向して配置された第2の型と、を有する真空容器と、ワークの処理対象部分の外周に位置する非処理対象部分に接触するマスキング部材と、を備え、マスキング部材は、ワークの非処理対象部分に接触する部位に、凹凸を有する。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2018024068A
公开(公告)日：2018-02-15
申请号：JP2016158522
申请日：2016-08-12
Applicant: トヨタ自動車株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
Abstract: 【課題】プラズマCVD装置においてワークの成膜中にワークを把持するワーク把持装置の把持力が付勢部材の熱破損によって低下することを抑制する。 【解決手段】プラズマCVD装置においてワークの成膜中に前記ワークを把持するワーク把持装置は、基部と、基部にその上端部が固定された固定部材と、固定部材と対向するように配置され、基部にその上端部が取り付けられて上端部を中心として回動し、固定部材との間でワークを把持する可動部材と、可動部材を固定部材側に付勢する付勢部材と、基部に固定され、付勢部材の一端を支持する付勢部材ホルダーと、を備える。付勢部材ホルダーは、付勢部材を固定部材の方向に突出させる開口部と、開口部を除く付勢部材の周囲を覆うように付勢部材を収容する収容部と、を有している。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2017197780A
公开(公告)日：2017-11-02
申请号：JP2016086811
申请日：2016-04-25
Applicant: トヨタ自動車株式会社
Inventor： 飯塚 和孝
Abstract: 【課題】成膜装置において、異物がシール部材に付着することを抑制する。 【解決手段】成膜装置は、第1窪み部と第1平面部とを備える第1の型を有する成膜容器と、第1平面部の第1窪み部側に配置された内側シール部材と内側シール部材よりも外側に配置された外側シール部材と開閉装置とガス供給装置と制御部とを備える。成膜を行う状態において内側シール部材と外側シール部材とはワークに接触する。第1の型は内側シール部材と外側シール部材との間にガス放出口を有し、ワークは第1の型に向けて突出する凸部を備え、凸部はシール部材がワークに接触した状態において第1の型から離間しかつ内側シール部材と外側シール部材との間の位置でガス放出口と対向しておりに位置し、制御部は、成膜が行われた後、第1の型をワークに対して相対的に移動させる際にガス供給装置を制御してガス放出口を介してガスを放出する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP5942937B2
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：JP2013155723
申请日：2013-07-26
Applicant: トヨタ自動車株式会社
IPC: H01L21/205 , H05H1/46 , C23C16/44 , C23C16/50
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP6652012B2
公开(公告)日：2020-02-19
申请号：JP2016158522
申请日：2016-08-12
Applicant: トヨタ自動車株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
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公开(公告)号：JP6631449B2
公开(公告)日：2020-01-15
申请号：JP2016183712
申请日：2016-09-21
Applicant: トヨタ自動車株式会社
IPC: H01L21/31 , H01L21/3065 , H01B13/00 , H01M8/0202 , C23C16/50
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公开(公告)号：JP6455481B2
公开(公告)日：2019-01-23
申请号：JP2016086812
申请日：2016-04-25
Applicant: トヨタ自動車株式会社
Inventor： 飯塚 和孝
IPC: C23C16/455 , C23C16/44
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公开(公告)号：JP2018141186A
公开(公告)日：2018-09-13
申请号：JP2017034624
申请日：2017-02-27
Applicant: トヨタ自動車株式会社
IPC: C23C16/26 , C23C16/04 , C23C16/32 , H05H1/46 , C23C16/458
Abstract: 【課題】プラズマを用いて成膜又はエッチングを行う装置において、電圧が印加される部分と絶縁部材とが接触する箇所にプラズマが侵入することによる、異常放電の発生を抑制することができる処理装置の提供。 【解決手段】プラズマを用いて導電性のワークWに成膜又はエッチングを行う処理装置200は、対向配置される第1の型110及び第2の型120を備え、第1の型110は第1平面部111と第1平面部111から窪んだ第1窪み部114と、を有する真空容器100と、ワークWを第1平面部111及び第2の型120から離間させる離間部材と、第1平面部と第2の型との間に配置され、ワークと接触する絶縁部材と、ワークWに電力を印加する電力印加部70と、第1の型110において第1平面部111から離間して第1窪み部114に配置され、第1窪み部114内に磁場を形成する磁場形成部40とを備える処理装置200。 【選択図】図1
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