ワーク検査装置およびワーク検査方法

    公开(公告)号:JP2021173704A

    公开(公告)日:2021-11-01

    申请号:JP2020079578

    申请日:2020-04-28

    Abstract: 【課題】ワークを高速且つ高精度で検査するのに有効なワーク検査技術を提供する。 【解決手段】ワーク検査装置10は、ワーク1の被検査面2に対して第1方向Xに相対移動しながら被検査面2を撮影する撮影部20と、明暗縞状パターンPの照明光Lを被検査面2に投光した状態で第2方向Yに沿ってシフトさせる照明部30と、欠陥検出部45と、を備え、撮影部20は、明暗の1周期の間に被検査面2における撮像対象範囲22を第1方向Xについて一部ラップさせながら被検査面2に対して第1方向Xに連続的に相対移動することによって共通の重なり領域Aを含む複数の画像Iを撮影し、欠陥検出部45は、複数の画像Iを重なり領域Aの画素毎の輝度の最大値と最小値の差分である輝度差について比較することにより、上記被検査面2の各部位のうち輝度差が相対的に小さい画素に相当する部位を欠陥3として検出する。 【選択図】図1

    照明装置、及び、画像検査装置
    4.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2017227474A

    公开(公告)日:2017-12-28

    申请号:JP2016122154

    申请日:2016-06-20

    Abstract: 【課題】好適に照明を行うことができる照明装置などを提供する。 【解決手段】照明装置は、明暗パターン画像20の第1パターン画像21により画像検査の検査対象Kの第1領域を照明するとともに、前記第1パターン画像21とは異なる第2パターン画像22により検査対象Kの前記第1領域とは異なる第2領域を照明するディスプレイを備える。また、コンピュータは、第1パターン画像21が示す明暗パターンと、第2パターン画像22が示す明暗パターンとを移動させる。 【選択図】図8

    画像検査装置、及び、プログラム

    公开(公告)号:JP2017227473A

    公开(公告)日:2017-12-28

    申请号:JP2016122153

    申请日:2016-06-20

    Abstract: 【課題】欠陥を精度良く検出できる画像検査装置などを提供する。 【解決手段】画像検査装置は、差分画像を構成する複数の画素の輝度を16×16の画素群毎に平均化した第2基準画像を生成する。また、画像検査装置は、差分画像を構成する複数の画素の輝度を4×4の画素群毎に平均化した第2検査画像を生成する。画像検査装置は、第2基準画像の各画素の輝度値と、第2検査画像の各画素の輝度値と、を同じ位置の画素同士で比較し、両輝度の関係が所定基準を満たしている画素の有無に基づいて欠陥を検出する。 【選択図】図5

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