公开(公告)号：JP5858496B2

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：JP2013531767

申请日：2011-09-28

Applicant: バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド

Inventor： ゴデット、ルドヴィック ,  マーティン、パトリック、エム. ,  オルソン、ジョセフ、シー.

IPC: G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J37/317 ,  H01J37/3056 ,  H01L21/26586 ,  H01L21/266 ,  H01J2237/31796

公开(公告)号：JP5773319B2

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：JP2013531679

申请日：2011-09-23

Applicant: バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド

Inventor： ゴデット、ルドヴィック ,  マーティン、パトリック、エム.

IPC: H01L21/3065 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: C23C16/50 ,  G03F7/405 ,  G03F7/7045 ,  G03F7/70875 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32412 ,  H01J37/32422 ,  H01L21/0273 ,  G03F7/427