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公开(公告)号:JP2020106159A
公开(公告)日:2020-07-09
申请号:JP2018242268
申请日:2018-12-26
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
Inventor: 安井 伸行
Abstract: 【課題】清浄空間が必要なクリーンルームや製造装置等に使用される除塵装置において、除塵装置の上方もしくは下方のメンテナンスエリアを選択可能とすることにより、メンテナンス性に優れた除塵装置を提供することを目的とする。 【解決手段】送風ファンと、主筐体と、電装部と、電装部を格納する副筐体と、を備え、副筐体は、天面部と、天面部に対向し電装部が固定される底面部と、天面部と底面部とを接続する側壁部とを備え、底面部は、主筐体に対して上方及び下方の双方に取り外し可能である除塵装置とする。上方のみ、または下方のみでメンテナンスができるため、各々の製造装置の状態に合わせて容易にメンテナンスが可能となる。 【選択図】図4
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公开(公告)号:JP2018105576A
公开(公告)日:2018-07-05
申请号:JP2016254959
申请日:2016-12-28
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
Abstract: 【課題】汚染された空気が係止具接合部の隙間等から製造設備内部に流出することを防止したファンフィルターユニットを提供する。 【解決手段】ファンフィルターユニットは、非浄化領域から空気を吸い込んで浄化待機風路に空気を吹き出す送風ユニットと、浄化待機風路の空気を浄化して浄化領域に排出するフィルターと、フィルターを着設するカバーと、カバーと係合してカバー及びフィルターとの間で浄化待機風路の内壁を形成するチャンバーと、カバーに設けられたカバー係止孔と、チャンバーに設けられたチャンバー係止孔と、カバー係止孔とチャンバー係止孔との間に設けられ浄化待機風路からの空気の漏れを防止するパッキンと、カバー係止孔とチャンバー係止孔とを貫通してカバーとパッキンとチャンバーとを圧着する棒状留め具と、を備え、棒状留め具の両端は、浄化待機風路の外部に位置する。 【選択図】図4
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公开(公告)号:JP2017042735A
公开(公告)日:2017-03-02
申请号:JP2015168591
申请日:2015-08-28
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
CPC classification number: Y02A50/2355
Abstract: 【課題】クリーンルーム内部または製造装置内部の汚染を抑制するファンフィルターユニットを提供する。 【解決手段】ファンモーターユニット2とチャンバー3とチャンバー吐出口3bに設けられたケミカルフィルター6とケミカルフィルター6の下流側に設けられた粉塵捕集フィルター4とを備えるファンフィルターユニット1であって、ケミカルフィルター6をチャンバー3内部に配置することにより、クリーンルーム内部または製造装置内部に搭載しても、クリーンルーム内部または製造装置内部の汚染を抑制できるファンフィルターユニット1を提供できる。 【選択図】図2
Abstract translation: 只要抑制风扇过滤器单元净化室内部或制造设备内部的污染。 本发明提供了一种风扇过滤器单元1和风扇马达单元2和室3和集尘设置在化学过滤器6和设置在该腔室排出口3b中的化学过滤器6的下游侧滤波器4, 由腔室3的内部放置的化学过滤器6,也可以安装在洁净室的内部或制造装置的内部,所以能够提供一种风扇过滤器单元1可以抑制内部洁净室内或制造设备的污染。 .The
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公开(公告)号:JP2021060191A
公开(公告)日:2021-04-15
申请号:JP2020214483
申请日:2020-12-24
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
Abstract: 【課題】汚染された空気の流出を防止したファンフィルターユニットを提供する。 【解決手段】送風ユニットと、フィルターと、カバーと、チャンバーと、カバーとチャンバーとを係止する棒状留め具と、パッキンと、を備え、チャンバーは、浄化待機風路の内壁を形成し、チャンバー曲げ部と、チャンバー係止孔と、を備え、カバーは、フィルター配置部材と、係合部材と、を備え、フィルター配置部材は、外部が浄化待機風路の内壁を形成し、浄化開口と、フィルター配置空間と、フィルター配置部材曲げ部と、フィルター配置部材係止孔と、を備え、係合部材は、カバー係止孔と、カバー開口係止孔と、を備え、棒状留め具は、係合部材とパッキンとフィルター配置部材とを圧着し、棒状留め具の両端は、浄化待機風路の外部に位置する。 【選択図】図9
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公开(公告)号:JP2018048759A
公开(公告)日:2018-03-29
申请号:JP2016183573
申请日:2016-09-21
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
Abstract: 【課題】重量物である送風ユニットと係止具を設備の上部外壁から取り外すことなく、フィルタのみを着脱可能な空気清浄ユニットを提供する。 【解決手段】係止具4は、設置面に固定するための脚部15と、脚部より上方に立ち上がる胴部16とを備え、胴部16は、下段にて前記フィルタを位置させるフィルタ保持部18と、上段にて送風ユニットを位置させてフィルタを設置面との間で挟持するユニット保持部19と、突起部を内周にそって摺動可能に設けられたガイド孔20とを備え、ユニット保持部19に位置するガイド孔20は、突起部を上下方向に誘導する上下孔21と、一端を前記上下孔の上方に接続され突起部を下面と平行方向に誘導する平行孔22と、他端に前記突起部を下方に嵌め込む凹部23とを備えた空気清浄ユニットを提供する。 【選択図】図4
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