公开(公告)号：JP6377726B2

公开(公告)日：2018-08-22

申请号：JP2016513469

申请日：2014-05-05

申请人： ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア ,  BASF SE

发明人： ラン,ヨンチン ,  プルジビルスキ,ペーター ,  パオ,チェンユイ ,  プレルス,ユリアン

IPC分类号： B24B37/00 ,  C09K3/14 ,  C09G1/02 ,  H01L21/304

CPC分类号： C09G1/02 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/02024 ,  H01L21/30612 ,  H01L21/30625

公开(公告)号：JP2019135297A

公开(公告)日：2019-08-15

申请号：JP2019037551

申请日：2019-03-01

申请人： ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア ,  BASF SE

发明人： ラン,ヨンチン ,  プルジビルスキ,ペーター ,  パオ,チェンユイ ,  プレルス,ユリアン

IPC分类号： C09G1/02 ,  B24B37/00 ,  H01L21/304 ,  C09K3/14

摘要： 【課題】III−V族材料、具体的にはGaAsおよびInP基板の化学機械研磨のためのCMP組成物およびCMP法を提供する。 【解決手段】(A)2〜6の範囲のpHにおいて−15mV以下の負のゼータ電位を有する表面修飾シリカ粒子、(B)N−ビニル−ホモポリマーおよびN−ビニルコポリマーからなる群から選択される1種または複数のポリマー、(C)水、(D)任意に、1種または複数の他の成分を含む化学機械研磨(CMP)組成物であって、組成物のpHが2〜6の範囲である。 【選択図】なし

公开(公告)号：JP2019518849A

公开(公告)日：2019-07-04

申请号：JP2018564814

申请日：2017-05-31

申请人： ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア ,  BASF SE

发明人： デシュライン,クリスティアン ,  ジーベルト,マクス ,  ラウター,ミヒャエル ,  ロイニッセン,レオナルドゥス ,  ガルシア ロメロ,イヴァン ,  ゲヴェンク,ハチ オスマン ,  プルジビルスキ,ペーター ,  プレルス,ユリアン ,  クリップ,アンドレアス

IPC分类号： C11D3/37 ,  H01L21/304 ,  C11D1/722

摘要： 化学機械研磨後(CMP後)洗浄組成物であって、 (A)一般式(I)の1種以上の水溶性非イオン性コポリマー及びその混合物 【化1】 (式中、R 1 及びR 3 は、互いに独立して、水素、メチル、エチル、n−プロピル、iso−プロピル、n−ブチル、iso−ブチル、又はsec−ブチルであり、R 2 は、メチルであり、x及びyは、整数である)、 (B)最大で10,000g/molの質量平均モル質量(Mw)を有するポリ(アクリル酸)(PAA)又はアクリル酸−マレイン酸コポリマー、及び (C)水、 を含むか又はそれらからなり、組成物のpHは7.0〜10.5の範囲内である、組成物が開示される。 【選択図】なし

公开(公告)号：JP2019502803A

公开(公告)日：2019-01-31

申请号：JP2018533247

申请日：2016-12-20

申请人： ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア ,  BASF SE

发明人： デシュライン,クリスティアン ,  ジーベルト,マクス ,  ラウター,ミヒャエル ,  プルジビルスキ,ペーター ,  プレルス,ユリアン ,  クリップ,アンドレアス ,  グェヴェンク,ハチ オスマン ,  ロイニッセン,レオナルドゥス ,  バオマン,レルフ−ペーター ,  ウェイ,トー ユイ

IPC分类号： H01L21/304 ,  C11D7/22

摘要： (A) 400から8,000g/molの範囲内の質量平均分子量(Mw)を有するポリエチレングリコール(PEG)、 (B) ポリ(アクリル酸)(PAA)、アクリル酸−マレイン酸コポリマー、ポリアスパラギン酸(PASA)、ポリグルタミン酸(PGA)、ポリビニルホスホン酸、ポリビニルスルホン酸、ポリ(スチレンスルホン酸)、ポリカルボキシレートエーテル(PCE)、PEG−亜リン酸、および該ポリマーのコポリマー、からなる群から選択されるアニオン性ポリマー、ならびに (C) 水 を含むまたはそれらからなり、 pHが7.0から10.5の範囲内である 化学機械研磨後(CMP後)の洗浄組成物について記載されている。

公开(公告)号：JP6949846B2

公开(公告)日：2021-10-13

申请号：JP2018533247

申请日：2016-12-20

申请人： ビーエイエスエフ・ソシエタス・エウロパエア ,  BASF SE

发明人： デシュライン,クリスティアン ,  ジーベルト,マクス ,  ラウター,ミヒャエル ,  プルジビルスキ,ペーター ,  プレルス,ユリアン ,  クリップ,アンドレアス ,  グェヴェンク,ハチ オスマン ,  ロイニッセン,レオナルドゥス ,  バオマン,レルフ−ペーター ,  ウェイ,トー ユイ

IPC分类号： C11D7/26 ,  C11D7/32 ,  C11D7/34 ,  C11D7/36 ,  H01L21/304

公开(公告)号：JP6810399B2

公开(公告)日：2021-01-06

申请号：JP2019037551

申请日：2019-03-01

申请人： ビーエイエスエフ・ソシエタス・エウロパエア ,  BASF SE

发明人： ラン,ヨンチン ,  プルジビルスキ,ペーター ,  パオ,チェンユイ ,  プレルス,ユリアン

IPC分类号： B24B37/00 ,  H01L21/304 ,  C09K3/14

公开(公告)号：JP6932147B2

公开(公告)日：2021-09-08

申请号：JP2018564814

申请日：2017-05-31

申请人： ビーエイエスエフ・ソシエタス・エウロパエア ,  BASF SE

发明人： デシュライン,クリスティアン ,  ジーベルト,マクス ,  ラウター,ミヒャエル ,  ロイニッセン,レオナルドゥス ,  ガルシア ロメロ,イヴァン ,  ゲヴェンク,ハチ オスマン ,  プルジビルスキ,ペーター ,  プレルス,ユリアン ,  クリップ,アンドレアス

IPC分类号： C11D3/37 ,  H01L21/304 ,  C11D1/722