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公开(公告)号:JP2015505574A
公开(公告)日:2015-02-23
申请号:JP2014555213
申请日:2013-02-01
Applicant: ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBasf Se , ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBasf Se
Inventor: ゼールマン−エゲベアト ハンス−ペーター , ゼールマン−エゲベアト ハンス−ペーター , マイトロ−フォーゲル ソフィ , マイトロ−フォーゲル ソフィ , ライス−ヴァルター エーファ−マリア , ライス−ヴァルター エーファ−マリア , ベンテレ ヨアヒム , ベンテレ ヨアヒム , エルヴェボーン−ヤンソン レナ , エルヴェボーン−ヤンソン レナ
IPC: C10M105/18
CPC classification number: C10M107/34 , B28D5/0076 , C10M2209/108 , C10M2209/1085 , C10N2240/401 , C10M2209/107
Abstract: 本発明は、変性されたポリグリコールの冷却および/または潤滑液の製造のための使用、新規の冷却および/または潤滑液、該冷却および/または潤滑液の材料を削る際の、特にウェハの切断の際の使用ならびに該切断液を用いて製造されたウェハに関する。
Abstract translation: 本发明中,用于冷却和/或润滑液改性聚乙二醇,新的冷却和/或润滑液的制造中切割所述冷却和/或润滑流体的材料,特别是切割晶片时 本发明涉及晶片使用时使用切削液井生产。
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公开(公告)号:JP2013534262A
公开(公告)日:2013-09-02
申请号:JP2013522230
申请日:2011-08-02
Applicant: ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBasf Se
Inventor: ゼールマン−エゲベアト ハンス−ペーター , ゼンフ アンドレアス , レシュ マークス , ベンテレ ヨアヒム , シュミット カティ , ステファノフスキ ウード
IPC: C10M169/04 , B24B37/00 , C10M105/18 , C10M107/34 , C10N30/00 , C10N40/22 , H01L21/304
CPC classification number: C10M107/34 , C10M2201/041 , C10M2201/05 , C10M2201/061 , C10M2201/062 , C10M2209/104 , C10M2209/1045 , C10M2209/107 , C10N2220/022 , C10N2220/14 , C10N2230/02 , C10N2240/401 , C10M2209/1055 , C10M2209/1085 , C10M2209/1065
Abstract: 本発明は、ウェハ製造のための研磨材用の改善された新規加工液、特に切削液、それらの使用及びウェハを切削する方法に関する。
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公开(公告)号:JP2014511927A
公开(公告)日:2014-05-19
申请号:JP2014504292
申请日:2012-04-11
Applicant: ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBasf Se
Inventor: ヴァイス トーマス , ゼールマン−エゲベアト ハンス−ペーター , ミスケ アンドレア , シュピーグラー ヴォルフガング
IPC: C08G65/332 , B05D7/24
CPC classification number: C09D171/02 , C08G65/3322
Abstract: 本発明は、LCSTポリマー、その製造および使用に関する。
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公开(公告)号:JP5543030B2
公开(公告)日:2014-07-09
申请号:JP2013522230
申请日:2011-08-02
Applicant: ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBasf Se
Inventor: ゼールマン−エゲベアト ハンス−ペーター , ゼンフ アンドレアス , レシュ マークス , ベンテレ ヨアヒム , シュミット カティ , ステファノフスキ ウード
IPC: C10M105/18 , B24B37/00 , C07C43/11 , C10M107/34 , C10N30/00 , C10N40/22 , H01L21/304
CPC classification number: C10M107/34 , C10M2201/041 , C10M2201/05 , C10M2201/061 , C10M2201/062 , C10M2209/104 , C10M2209/1045 , C10M2209/107 , C10N2220/022 , C10N2220/14 , C10N2230/02 , C10N2240/401 , C10M2209/1055 , C10M2209/1085 , C10M2209/1065
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