公开(公告)号：JP2016513822A

公开(公告)日：2016-05-16

申请号：JP2016500552

申请日：2014-03-03

Applicant: ピクストロニクス,インコーポレイテッド

Inventor： ティモシー・ジェイ・ブロスニハン ,  ジャヴィエル・ヴィラレアル ,  マイケル・アンドリュー・ジングラス

IPC: G02B26/02 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G09F9/00 ,  G09F9/37

CPC classification number: G02B5/005 ,  B29D11/0074 ,  B81C1/00317 ,  B81C2201/0108 ,  G02B26/023

Abstract: 本開示は、画像を表示するためのシステム、方法、および装置を提供する。いくつかのそのような装置は、基板に結合された表示素子のアレイと、表示素子のアレイの上に懸架された高設開口層(EAL)とを含む。EALは、基板に結合され、表示素子の各々について、光の通過を可能にするための少なくとも1つの開口を含む。そのような装置を製造するための方法は、EALを貫通するエッチングホールを形成するステップと、少なくとも部分的に昇華性の犠牲型を用いるステップと、二相解放プロセスを用いるステップと、犠牲型の一部が装置の一部を取り囲んで残るように、装置を解放するステップとのうちの少なくとも1つを含む。

Abstract translation: 本公开提供一种系统，用于显示图像，方法和装置。 一些这样的设备包括耦合到所述衬底，悬浮显示元件阵列和（EAL）过高设开口层显示元件的阵列。 EAL是耦合到所述衬底，对于每个显示元件，包括用于允许光通过的至少一个开口。 用于制造这样的装置的方法包括：形成穿过所述EAL的蚀刻孔的步骤，至少部分地使用的步骤升华牺牲类型，包括：使用一个两相释放过程的步骤中，牺牲 作为部分保持围绕装置的一部分，包括释放所述装置的步骤中的至少一个。