公开(公告)号：JP6938460B2

公开(公告)日：2021-09-22

申请号：JP2018500675

申请日：2016-07-08

Applicant: ピヴォタル システムズ コーポレーション

Inventor： モンコウスキー,ジョーセフ アール. ,  フランクリン,ジェームス ,  チェン,ジウイ ,  ディング,タオ ,  シュマコフ,アンドレイ ,  オーウェンズ,トラヴィス

IPC: G05D7/06

公开(公告)号：JP5971636B2

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：JP2014234087

申请日：2014-11-19

Applicant: ピヴォタル システムズ コーポレーション

Inventor： モンコウスキー,ジョーセフ,アール. ,  チェン,ジャリング ,  ディング,タオ ,  チャーマーズ,ジェイムス,マカレン

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G01F25/0053 ,  G01F25/0038 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/7762

公开(公告)号：JP2015064893A

公开(公告)日：2015-04-09

申请号：JP2014234087

申请日：2014-11-19

Applicant: ピヴォタル システムズ コーポレーション

Inventor： モンコウスキー,ジョーセフ,アール. ,  チェン,ジャリング ,  ディング,タオ ,  チャーマーズ,ジェイムス,マカレン

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G01F25/0053 ,  G01F25/0038 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/7762

Abstract: 【課題】測定の最中もしくは後に生じる圧力変化により、テスト対象のガス・フロー・コントローラを通過するガスの流れを乱さないように流量を制御する方法を提供する。 【解決手段】ガス・フロー・コントローラ208の上流で圧力低下率を用いて、ガス・フロー・コントローラを通る流量を正確に測定するにあたり、弁206を閉じるタイミングを、測定の最中もしくは後に起こる圧力変化のいずれもが、試験対象のガス・フロー・コントローラを通過するガスの安定した流れを乱すことのないように選択する。 【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种控制流量的方法，以便不影响通过测量期间和之后发生的压力变化的被测气体流量控制器的气体流量。解决方案：使用下降速率 在气体流量控制器208的上游的压力中，以精确地测量通过气体流量控制器的流量，选择阀门206的关闭时间，使得在测量期间和之后发生的压力变化不会扰乱 气体通过被测气体流量控制器稳定流动。

公开(公告)号：JP2021184257A

公开(公告)日：2021-12-02

申请号：JP2021109827

申请日：2021-07-01

Applicant: ピヴォタル システムズ コーポレーション

Inventor： モンコウスキー,ジョーセフ アール. ,  フランクリン,ジェームス ,  チェン,ジウイ ,  ディング,タオ ,  シュマコフ,アンドレイ ,  オーウェンズ,トラヴィス

IPC: G05D7/06

Abstract: 【課題】流量測定における潜在的変動の自己監視が可能な新規の流量測定装置を提供する。 【解決手段】ガスの流量を制御するための装置であって、該装置は、制御可能なバルブと、制御可能なバルブの上流の流量制限器とを含み、バルブの位置およびバルブの上流のガス圧力が測定され、第1検索表とともに使用されて、バルブによってガスの流量を決定し、流量制限器の温度と流量制限器の上流および下流のガス圧力とが測定され、第2検索表とともに用いられて、流量制限器によってガスの流量を決定する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2018520441A

公开(公告)日：2018-07-26

申请号：JP2018500675

申请日：2016-07-08

Applicant: ピヴォタル システムズ コーポレーション

Inventor： モンコウスキー,ジョーセフ アール. ,  フランクリン,ジェームス ,  チェン,ジウイ ,  ディング,タオ ,  シュマコフ,アンドレイ ,  オーウェンズ,トラヴィス

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G01F1/34 ,  G05D7/0635

Abstract: ガスの流量を制御するための装置であって、該装置は、制御可能なバルブと、制御可能なバルブの上流の流量制限器とを含み、バルブの位置およびバルブの上流のガス圧力が測定され、第1検索表とともに使用されて、バルブによってガスの流量を決定し、流量制限器の温度と流量制限器の上流および下流のガス圧力とが測定され、第2検索表とともに用いられて、流量制限器によってガスの流量を決定する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP6064599B2

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：JP2012534432

申请日：2010-10-15

Applicant: ピヴォタル システムズ コーポレーション

Inventor： モンコウスキー,アダム,ジェー. ,  チャーマーズ,ジェイムス,マカレン ,  チェン,ジャリング ,  ディング,タオ ,  モンコウスキー,ジョーセフ,アール.

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0635 ,  F16K31/004 ,  F16K7/14 ,  F16K7/16 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/7737 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/8158 ,  Y10T137/8242 ,  Y10T137/8275