公开(公告)号：KR20210027237A

公开(公告)日：2021-03-10

申请号：KR1020207025938A

申请日：2019-06-26

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 아츠시 사와치

IPC分类号： G05D7/06 ,  H01L21/67

CPC分类号： G05D7/0635 ,  H01L21/67069

摘要： 유량 제어기는, 처리 장치에 공급되는 가스의 유량을 제어 가능한 밸브와, 가스의 공급 개시를 지시하는 지령이 처리 장치로부터 발행된 시점에서, 밸브를 열어서 가스의 유량의 제어를 개시하고, 지령이 발행된 시점으로부터 소정의 주기로 가스의 유량을 적산한 적산 유량을 산출하고, 산출한 적산 유량이 소정의 목표 적산 유량에 도달한 시점에서, 밸브를 닫아서 가스의 유량의 제어를 정지하는 밸브 제어부를 갖는다.

公开(公告)号：JP2018181883A

公开(公告)日：2018-11-15

申请号：JP2017073791

申请日：2017-04-03

申请人： 株式会社荏原製作所

发明人： 豊増 富士彦 ,  國澤 淳次

IPC分类号： H01L21/304

CPC分类号： B08B3/08 ,  B24B37/00 ,  G05D7/0635 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6704 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67253

摘要： 【課題】CLC(Closed Loop Controller)が適切に使用可能であるか否かを判断することができる液体供給装置を提供する。 【解決手段】液体源からの液体を洗浄装置200に供給するための液体供給装置100は、液体源10、20からの液体の流量を計測し、計測値に基づいて流量を制御する流量制御装置111、121と、前記液体源と流量制御装置との間に設けられるイン側圧力計76、52と、前記流量制御装置と前記洗浄装置との間に設けられるアウト側圧力計74と、を有する。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP6423792B2

公开(公告)日：2018-11-14

申请号：JP2015534280

申请日：2014-08-28

申请人： 株式会社堀場エステック

发明人： 瀧尻 興太郎 ,  清水 圭太

IPC分类号： G05D7/06

CPC分类号： G05D7/0635

公开(公告)号：JP2018169910A

公开(公告)日：2018-11-01

申请号：JP2017068162

申请日：2017-03-30

申请人： 東京エレクトロン株式会社

发明人： 大野 久美子 ,  辻本 宏

IPC分类号： G05D7/00

CPC分类号： H01L21/67253 ,  G03F7/091 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2006 ,  G05B15/02 ,  G05D7/0635 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32834 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/0276 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/6831

摘要： 【課題】ガスの供給における遅延時間を把握できるようにする。 【解決手段】流量制御器からガスを出力する第1の工程ST3と、バルブを閉鎖する第2の工程ST4と、第1の圧力上昇特性を取得する第3の工程ST5と、流量制御器から断続的にガスを出力する第4の工程ST7と、バルブを閉鎖する第5の工程ST8と、第2の圧力上昇特性を取得する第6の工程ST9と、第3の圧力上昇特性を取得する第7の工程ST10と、第4の圧力上昇特性を取得する第8の工程ST11と、第3の圧力上昇特性から第1の必要時間を取得する第9の工程ST12と、第4の圧力上昇特性から第2の必要時間を取得する第10の工程ST13と、遅延時間がないとの仮定の下で断続的なガスの出力を行った場合に、所定の圧力に到達するまでの推定時間を取得する第11の工程ST14と、推定時間と第2の必要時間との差を表すパラメータを求める第12の工程ST15からなる。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2018526757A

公开(公告)日：2018-09-13

申请号：JP2018529497

申请日：2016-08-23

申请人： エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド ,  MKS INSTRUMENTS,INCORPORATED

发明人： ディング,ジュンファ ,  ラバッシ,マイケル

IPC分类号： G05D7/06

CPC分类号： G05D7/0635 ,  G01F1/363 ,  G01F1/50 ,  G01F15/005

摘要： 圧力式流量測定のための方法、システム、および装置を提供する。 【解決手段】プロセッサは、圧力式質量流量コントローラ(MFC)から上流圧力値P u を受け取る。プロセッサは、受け取った上流圧力値P u に基づいて、圧力式質量流量コントローラ(MFC)の下流圧力値P d を算出する。プロセッサは、受け取った上流圧力値P u と算出した下流圧力値P d とに基づいて、圧力式質量流量コントローラ(MFC)の流量Qを算出する。プロセッサは、算出した流量Qに基づいて、圧力式質量流量コントローラ(MFC)を通る流れを制御する。前記方法、システム、および装置は、非臨界または非チョーク流れの状態における流量測定に使用することができる。

公开(公告)号：JP2018138819A

公开(公告)日：2018-09-06

申请号：JP2017034014

申请日：2017-02-24

申请人： アズビル株式会社

发明人： 成田 浩昭

IPC分类号： G01D5/244 ,  G01D5/245 ,  F16K37/00

CPC分类号： F16K31/042 ,  F16K31/043 ,  F16K37/0033 ,  F16K37/0041 ,  G01D5/145 ,  G01D5/252 ,  G05B11/012 ,  G05D7/0635

摘要： 【課題】回転制御装置における相対的位置センサの原点復帰に要する時間を短くし、且つ相対的位置センサによる操作対象軸の位置測定の誤差を小さくする。 【解決手段】回転制御装置100は、操作対象軸200の回転方向の機械的変位量を非接触で検出する相対的位置センサ1と、操作対象軸の回転可能範囲における互いに異なる複数の位置毎に対応して設けられ、操作対象軸がその対応する位置に到達したときに検知信号を出力する絶対的位置センサ2_1〜2_nと、検知信号が出力されてからの上記機械的変位量の積算値RPと、その検知信号を出力した絶対的位置センサに対応する位置を示す基準値APとに基づいて操作対象軸の回転方向の絶対的な位置を算出する位置算出部3とを有し、絶対的位置センサの少なくとも一つは、回転可能範囲における第1および第2位置を除く第3位置に対応して設けられている。 【選択図】図1

公开(公告)号：JPWO2017057129A1

公开(公告)日：2018-07-26

申请号：JP2016077837

申请日：2016-09-21

申请人： 日立金属株式会社

发明人： 後藤 崇夫

IPC分类号： G05D7/06

CPC分类号： G05D7/0623 ,  G01F25/0007 ,  G05D7/06 ,  G05D7/0635

摘要： 記録手段により流量制御弁が開いて流量の制御が開始されたとき又は流量制御弁が閉じて流量の制御が停止されたときから測定流量が安定するまでの期間における差圧発生手段の下流側における流体の圧力の値を記録し、診断手段により記録手段が記録した下流側における流体の圧力の値に基づいて取得される管理値を、流量計に異常が発生していないときの管理値と対比し、両者の差の絶対値が閾値を超えたときに前記流量計に異常が発生したと診断する。流量計の上流側に隣接して機械式調圧弁をさらに配置することが好ましい。これにより、専ら診断を実施するための時間を設けることなく差圧式の流量計の異常の発生を簡便に診断することができる質量流量制御装置及び差圧式流量計の診断方法を提供することができる。

公开(公告)号：JP2018520441A

公开(公告)日：2018-07-26

申请号：JP2018500675

申请日：2016-07-08

申请人： ピヴォタル システムズ コーポレーション

发明人： モンコウスキー,ジョーセフ アール. ,  フランクリン,ジェームス ,  チェン,ジウイ ,  ディング,タオ ,  シュマコフ,アンドレイ ,  オーウェンズ,トラヴィス

IPC分类号： G05D7/06

CPC分类号： G01F1/34 ,  G05D7/0635

摘要： ガスの流量を制御するための装置であって、該装置は、制御可能なバルブと、制御可能なバルブの上流の流量制限器とを含み、バルブの位置およびバルブの上流のガス圧力が測定され、第1検索表とともに使用されて、バルブによってガスの流量を決定し、流量制限器の温度と流量制限器の上流および下流のガス圧力とが測定され、第2検索表とともに用いられて、流量制限器によってガスの流量を決定する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2018516720A

公开(公告)日：2018-06-28

申请号：JP2018505576

申请日：2016-04-14

申请人： チャキー レベッカ キャロル

发明人： チャキー レベッカ キャロル

IPC分类号： A47K3/28

CPC分类号： E03C1/055 ,  E03B1/048 ,  E03B7/045 ,  E03C1/0408 ,  E03C1/041 ,  E03C1/044 ,  G05B15/02 ,  G05D7/0635 ,  G05D23/1393

摘要： 水量又は水温のためのユーザインターフェース制御を備えたプログラマブルシステム。 本発明の実施形態は、シャワー用の水温制御システムを含む。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2018097759A

公开(公告)日：2018-06-21

申请号：JP2016243813

申请日：2016-12-15

申请人： 株式会社堀場エステック

发明人： 林 繁之 ,  長井 健太郎 ,  山口 正男

IPC分类号： G05D7/06

CPC分类号： G05D7/0635 ,  F16K37/005

摘要： 【課題】特に目標流量が立ち下がるような過渡応答状態でも高速応答が可能な流量制御装置を提供する。 【解決手段】開度を測定するポジションセンサ24を具備し、流体の流れる流路Lに設けられたバルブ2と、前記バルブ2よりも上流側に設けられ、リストリクタ11を具備する流量センサ1と、前記リストリクタ11よりも下流側であり、かつ、前記バルブ2よりも上流側に設けられた第1圧力センサP1と、前記バルブ2の下流側に設けられた第2圧力センサP2と、少なくとも前記バルブ2の開度、前記バルブの前後の差圧、及び、前記流路を流れる流体の流量との間の関係を示す特性マップを記憶する特性マップ記憶部3と、前記流路を流れる流体の流量が受け付けられた目標流量となるように前記バルブ2の開度を制御するバルブ制御部6と、を備えた。 【選択図】図1