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公开(公告)号：JP2019113064A
公开(公告)日：2019-07-11
申请号：JP2018232381
申请日：2018-12-12
Applicant: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
Inventor： ペーター・フーバー
Abstract: 【課題】本発明の課題は、冒頭に記載した形式のスクリュー式真空ポンプの温度情勢を改善することである。 【解決手段】ハウジング(16)、ハウジング(16)内に設けられ、互いに係合状態にある二つのスクリュー式ローター(28,30)を有するスクリュー式真空ポンプ(10)であって、スクリュー式ローターは、プロセスガスの搬送のため、ハウジング(16)と相互作用しつつ、繰り返し、プロセスガスの閉じられた搬送量を形成し、そしてアウトレット(24)の方向へと搬送し、そしてスクリュー式真空ポンプ(10)は、モーター(12)を有しており、このモーターは、一方のスクリュー式ローター(28)のための直接駆動部として形成されており、その際、スクリュー式ローター(28,30)のためにも、モーター(12)のためにもアクティブな流体冷却部が設けられていることを特徴とするスクリュー式真空ポンプ。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021102960A
公开(公告)日：2021-07-15
申请号：JP2021011798
申请日：2021-01-28
Applicant: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
Inventor： ペーター・フーバー
Abstract: 【課題】ポンプ性能を低下させることなく、製造精度を低減したスクリュー式真空ポンプを提供する。 【解決手段】二つのスクリュー式ローター(28,30)を有するスクリュー式真空ポンプ(10)であって、スクリュー式ローター(28,30)は、プロセスガスの搬送のため、ハウジング(16)と相互作用し、プロセスガスの閉じられた搬送ボリュームを繰り返し形成し、アウトレットの方向へと搬送する。スクリュー式ローター(28,30)は、其々、スクリュー軸(63)に沿って隣接する少なくとも二つの部分(62,64)を有し、スクリュー軸(63)に関して、第一の部分(62)が、第一の部分(62)内に閉じられた搬送ボリュームよりも長いことを特徴とする。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JP2019143620A
公开(公告)日：2019-08-29
申请号：JP2018232382
申请日：2018-12-12
Applicant: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
Inventor： ペーター・フーバー
Abstract: 【課題】必要な製造精度を、ポンプ効果を発揮する形状の少なくとも部分領域に対して低減する。 【解決手段】ハウジング(16)と相互作用し、繰り返し、プロセスガスの閉じられた搬送ボリュームを形成し、かつアウトレットの方向へと搬送し、その際、スクリュー式ローター(28,30)が、其々、スクリュー軸に沿って隣接する少なくとも二つの部分(62,64)を有し、その際、スクリュー式ローター(28,30)が、其々、インレットの近傍に置かれた第一の部分(62)内において、少なくとも基本的に一定の傾斜を有し、そして第二の部分(64)内において、第一の部分(62)内におけるよりも小さい傾斜を有し、そしてその際、スクリュー軸(63)に関して、第一の部分(62)が、第一の部分(62)内に閉じられる搬送ボリュームよりも長いことを特徴とするスクリュー式真空ポンプ。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JP2019113063A
公开(公告)日：2019-07-11
申请号：JP2018232380
申请日：2018-12-12
Applicant: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
Inventor： ペーター・フーバー , ハーラルト・マルティン
Abstract: 【課題】本発明の課題は、回転容積式真空ポンプ、特にスクリュー式真空ポンプの二つのローターの整向を簡単にすることである。 【解決手段】回転容積式真空ポンプ、特にスクリュー式真空ポンプの製造のための方法であって、以下のステップ、つまり、ハウジング(16)の提供、ハウジング(16)内に配置するための、ポンプ効果を奏する二つのローター(28,30)の提供、各整向面(78)を、ローター(28,30)が整向された状態において、互いに所定の向きに向けられているよう、整向面(78)をローター(28,30)に設けるステップ、整向面(78)に基づいて、整向面(78)に所定の向きで適合されたツール(82)によってローター(29,30)を整向するステップを有する方法。 【選択図】図1
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