公开(公告)号：JP5646456B2

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：JP2011506540

申请日：2009-04-29

Applicant: ミクラリン インコーポレイティッド ,  ミクラリン インコーポレイティッド

Inventor： キーワース、バリー ,  コーネルセン、ケヴィン ,  クロフォード、ジャレッド

IPC: B81B3/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0062 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/058 ,  B81B2207/07 ,  H02N1/006

公开(公告)号：JP2011521792A

公开(公告)日：2011-07-28

申请号：JP2011506540

申请日：2009-04-29

Applicant: ミクラリン インコーポレイティッド

Inventor： キーワース、バリー ,  クロフォード、ジャレッド ,  コーネルセン、ケヴィン

IPC: B81B3/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0062 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/058 ,  B81B2207/07 ,  H02N1/006

Abstract: ＭＥＭＳ装置が提供され、当該装置は、上面を有し、該上面は、ミラーなどの回転可能な素子を含んでいる。 中間支持フレーム面、および、下部電気用基板の面がある。 前記回転可能な素子は、フレームに対して第１の回転軸で回転可能となるように、中間支持フレーム面に形成された支持フレームによって支持されている。 該フレームは、第２の回転軸に対して回転可能となるように取り付けられている。 第１の回転軸での回転は、第２の回転軸での回転から実質的に独立している。
【選択図】図１Ａ