公开(公告)号：JP2021136370A

公开(公告)日：2021-09-13

申请号：JP2020032725

申请日：2020-02-28

Applicant: ヤマハロボティクスホールディングス株式会社

Inventor： マイケル カークビー ,  ランダエズ ガルシア イズマルド ホゼ ,  宗像 広志

IPC: B08B3/08 ,  B08B3/12 ,  H01L21/304

Abstract: 【課題】対象物の損傷を抑制すると共に簡便な構成で異物を除去する。 【解決手段】ステージ10と、音響ヘッド20と、移動機構30と、を備え、音響ヘッド20は、複数の超音波スピーカー21と、ケーシング22と、を有し、複数の超音波スピーカー21から発生した複数の超音波24をケーシング22とステージ10の保持面10aとの間の空隙14で集中させて低圧領域40を形成し、電子部品13の表面15に付着している異物90を低圧領域40に吸引させて異物90を表面15から除去する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2021136371A

公开(公告)日：2021-09-13

申请号：JP2020032729

申请日：2020-02-28

Applicant: ヤマハロボティクスホールディングス株式会社

Inventor： マイケル カークビー ,  ランダエズ ガルシア イズマルド ホゼ ,  宗像 広志

IPC: B08B3/08 ,  B08B3/12 ,  H01L21/304

Abstract: 【課題】洗浄対象物の損傷を抑制すると共に簡便な構成で洗浄対象物の洗浄を行う。 【解決手段】洗浄ステージに保持された電子部品の表面に洗浄液を塗布する洗浄液塗布工程(S101)と、音響ヘッドに取付けられた超音波スピーカーから超音波を洗浄液塗布され電子部品の表面に照射して、表面に付着している異物を表面から剥離させる剥離工程(S103)と、超音波スピーカーから発生した超音波をケーシングと洗浄ステージの保持面との間の空隙で集中させてケーシングの中央下部に大気圧よりも圧力が低い低圧領域を形成し、電子部品の表面から剥離した異物と表面に塗布された洗浄液とを低圧領域に吸引する吸引工程(S104)と、を有する。 【選択図】図2